壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器D500
zui*的壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器D500高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊——氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊
特征：
- 壓力不敏感性
高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應系統(tǒng)
- 多量程,多氣體,多種壓力的解決方案
新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內(nèi)的流量,供應壓力范圍
- G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節(jié)流方程)
*G-Life功能允許操作人員進行流量計自我監(jiān)測,通常會在三秒內(nèi)提高生產(chǎn)能力
- 高精度
*的三維調(diào)節(jié)已改進工藝氣體的流量精度
- 快速響應
響應速度＜0.8秒
已實現(xiàn)精準且穩(wěn)定的流量控制
- 動態(tài)范圍
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
