ALICAT質量流量計，北京代理；ALICAT質量流量計，北京代理；
性能參數(shù)
指標 | ALICAT氣體質量流量計 |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....2000SLPM，3000SLPM，4000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程） |
重復性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時間 | 10ms |
標準狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0- |
測量流量范圍 | 128％（過流率） |
zui大耐壓 | 145psi |
輸出信號（數(shù)字） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
輸出信號（模擬） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A） |
