芯明天放大機構式壓電納米定位臺特性
2~3維運動
位移行程40μm
體積小巧
亞毫秒響應時間
二、三維平移臺
P13壓電納米定位臺，包括二維XY軸、三維XYZ軸兩個規(guī)格型號。
芯明天放大機構式壓電納米定位臺閉環(huán)階躍穩(wěn)定時間圖
P13.XY閉環(huán)版本40μm行程的穩(wěn)定時間約為30ms。
超小體積、無機械間隙、高分辨率
固態(tài)鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動無機械間隙，該結構原理使其具有非常高的分辨率，運動直
線性好。
P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳
感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動態(tài)使用，是掃描應用的理想選擇。
P13 系列壓電納米定位臺為二維 XY、三維 XYZ 壓電平臺，臺體采用平行運動學機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，大位移為 37.5μm/ 軸。開環(huán)閉環(huán)版本可供選擇。產品主要應用于光學顯微、生物科技等領域。
超小體積、無機械間隙、高分辨率
固態(tài)鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動無機械間隙，該結構原理使其具有非常高的分辨率，運動直線性好。
P13 系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。
P13 壓電平移臺適用于動態(tài)使用，是掃描應用的理想選擇。
