自動RTP快速升溫管式爐BTF-1200C-RTP-180
開啟式RTP快速升溫管式爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用*制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動分離，爐體上下兩半設(shè)計，可以自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。
自動RTP快速升溫管式爐BTF-1200C-RTP-180
開啟式RTP快速升溫管式爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用*制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動分離，爐體上下兩半設(shè)計，可以自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長，以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。采用雙管設(shè)計，是石墨烯的制作的手段，爐體和爐管可以自由滑動，氣體和溫度及真空之間可以同步控制，可以同時實(shí)現(xiàn)自動化工藝，配上電腦可以對溫度、真空和氣體流量實(shí)現(xiàn)控制。由于可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化控制，對于操作和實(shí)驗(yàn)的重復(fù)性會非常有幫助。該設(shè)備是實(shí)驗(yàn)室*的一款設(shè)備。
自動RTP快速升溫管式爐BTF-1200C-RTP-180
技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 主要技術(shù)指標(biāo) | 數(shù)據(jù) |
規(guī)格型號 | BTF-1200C-RTP-180 |
|
溫度控制 | 溫度點(diǎn) | 1200℃ |
額定溫度 | 1100℃ | |
穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 | 100～1050℃ | |
溫度測量精度 | ±0.2℃ | |
溫度控制重復(fù)性 | ±1℃ | |
溫度控制精確度 | ±1℃ | |
溫場均勻性 | ±2℃ | |
溫度狀態(tài)工藝時間 | 2～100（100～1050℃） | |
升溫速率 | 30℃/S（可根據(jù)客戶需求定制） | |
降溫速率 | 1～300，可以采用打開爐體降溫或移除爐管降溫同時啟動流量計閥控控制氣體冷卻 | |
溫度控制模式 | 智能模糊全閉環(huán)控制 | |
| 觸摸屏尺寸 | 7"LCD 工控電腦 |
物理指標(biāo) | 大功率（KW） | 24 |
額定電壓 | 220V/AC380～400V 50-60HZ 自動匹配 | |
傳感器類型 | K型 | |
反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸 | Φ180×580 | |
式樣有效空間 | 6'' | |
抽氣端口尺寸 | KF25 | |
供氣口尺寸 | Φ6mm雙卡套 | |
冷卻方式 | 自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） | |
外形凈尺寸 | 長920×深500×高560mm | |
重量 | 約80Kg |
