手動(dòng)光譜橢偏儀價(jià)格是一種手動(dòng)變角光譜橢偏儀和深紫外光譜橢偏儀,具有250-1100nm的波長(zhǎng)范圍,手動(dòng)改變?nèi)肷浣?。手?dòng)spectroscopic ellipsometer光譜范圍覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長(zhǎng)非常適合測(cè)量超薄薄膜,比如納米厚度薄膜測(cè)量,硅晶圓薄膜厚度測(cè)量,典型值在2nm左右。對(duì)于測(cè)量許多材料的帶隙,深紫外光譜橢偏儀也非常重要。
手動(dòng)光譜橢偏儀價(jià)格
易于安裝,拆卸和維護(hù)
*的光學(xué)設(shè)計(jì)
自動(dòng)改變?nèi)肷浣?,入射角分辨率高達(dá)0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應(yīng)用
采用陣列探測(cè)器確保高速測(cè)量
測(cè)量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實(shí)或在線監(jiān)測(cè)薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)
提供工程師模式,服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測(cè)量
一鍵快速測(cè)量
全自動(dòng)標(biāo)定和初始化
精密樣品準(zhǔn)直界面直接樣品準(zhǔn)直,不需要額外光學(xué)
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出
手動(dòng)光譜橢偏儀SE200BM參數(shù)
波長(zhǎng)范圍:250-1100nm
波長(zhǎng)分辨率:1nm
測(cè)量點(diǎn)大?。?-5mm可調(diào)
入射角:10-90度可調(diào)
入射角分辨率:0.01度
可測(cè)樣品大?。焊哌_(dá)300mm 直徑
可測(cè)樣品厚度:高達(dá)20mm
測(cè)量薄膜厚度:0nm ---30um
測(cè)量時(shí)間:~1s/點(diǎn)
精度:~0.25%
重復(fù)精度:<1A