原位納米力學測試儀簡介： NMT-SEM納米力學測試儀是一款可在SEM/FIB中對微納米材料和結構的力學性能進行原位測量的納米機械手系統(tǒng)。測試原理是通過壓阻傳感器探針對微納結構施加一定的力,同時利用位移傳感器來測量該結構的形變。從測得的力和位移曲線可以定量地分析微納米結構的力學性能。通過控制加載力的大小和方向,可實現(xiàn)拉伸、壓縮、斷裂、疲勞和蠕變等各種力學測試。同時,其配備的導電樣品測試平臺可以對微納米結構的電學和力學性能進行同步測試。

原位納米力學測試儀

產(chǎn)品概述及性能參數(shù)：

系統(tǒng)整體

系統(tǒng)尺寸：100 mm´ 40 mm ´ 34 mm

系統(tǒng)重量： 300 g + adapter

兼容性： SEM, FIB, dual beam, optical microscope

力學傳感器

傳感器工作原理：壓阻式

力學分辨率： 5 nN at 100 Hz

力學量程： +/- 250 µN

位移粗動

移動方式：粘滑運動

自由度： XYZ + optional tilt and rotation

移動范圍： 21 mm in Y; 11 mm in XZ; tilt 90°; rotation 360°

移動精度： <1 nm in XYZ, 25 μ° in tilt and rotation

移動重復性： 5 nm (per 1 mm range, for closed-loop option only)

大移動速度： >15 mm/sec

位移微動

移動方式：柔性鉸鏈

移動范圍：10 µm (custom range available upon request) 

移動精度：0.1 nm at 100Hz

移動重復性： 0.5 nm