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沛沅儀器是一家集等離子體技術設計、制造、產品開發(fā)、銷售與服務于一體的技術型企業(yè)，公司致力于提供專業(yè)的等離子表面處理系統，向用戶提供國內*的等離子表面處理設備和優(yōu)質專業(yè)的服務。

公司技術團隊67%以上具備碩士或碩士以上學位，公司由*從事等離子體應用技術研究開發(fā)、多次參與國家重大科學工程研究的專家和產業(yè)化專家聯合創(chuàng)建，提供一系列等離子體表面處理系統、等離子體刻蝕系統、常壓等離子清洗設備等，并與中科院上海應用物理研究所，復旦大學，中國科技大學，上?？萍即髮W，上海交通大學等建立了密切的技術合作交流關系。

公司的愿景是成為等離子體應用領域的優(yōu)質供應企業(yè)，用科研的沉淀和應用的創(chuàng)新，為中國的制造業(yè)崛起和化戰(zhàn)略貢獻一份力量。

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產品簡介在線詢價

產地	國產	電壓	220/380V	工作溫度	50℃
加工定制	是	清洗時間	9999秒	適用領域	科研

Pluto30是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網絡電源在整個過程區(qū)域產生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統的應用范圍，提供給用戶的靈活性。

多功能 PLUTO-30 等離子表面處理系統等離子清洗器產品詳情

PLUTO-30等離子體材料表面處理統

中小型 量產級 多功能

Pluto30參數
腔體	腔體尺寸	300W x 280H x 366Dmm
	容量	30L
	電極數量	多可達層
電極	電極間隙	48mm
	功率電極尺寸	226W x 210D mm
	接地電極尺寸	260W x 210D mm
射頻系統	射頻功率和頻率	300W/13.56MHz
氣體控制	MFC控制器	標配1個MFC，多4個MFC控制器
系統控制	7寸工業(yè)觸控屏	全數字控制，實時顯示工作狀況，可設定操作權限和各種報警值，可儲存工藝方案
真空泵系統	油泵	32m³/h
真空泵系統	功率	220V/10A，50Hz，單相，3線
尺寸	外形尺寸	706W x 804D x 735H mm
特別裝置需求	工藝氣體	0.25英寸. 氣管快接.適用于 15-20psig;
	凈化氣	0.25英寸. 氣管快接. 適用于10-100psig
	CDA	0.25英寸. 氣管快接. 適用于60-90psig
	排氣接口	KF40
可選項	液體前驅體輸送系統
	500W/13.56MHz射頻系統
	37m³/h 干泵
	排氣洗滌器
	油霧消除器

特征及優(yōu)勢

氣體輸送系統，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

不同工藝模式（RIE、下游等離子體等）的柔性電極配置

*的射頻系統提供的工藝重復性和處理效率

全自動處理能力

圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅動流程并提供實時流程信息

臺式設計需要較小的占地面積

典型應用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性：預壓模粘合；預焊線粘合

增強表面膠體流動性：預成型；預倒裝芯片下溢

表面粗糙度和蝕刻

降低表面應力，改善表面粘結性

灰化和表面清潔

Plasma等離子蝕刻（配備RIE配置)

電介質/III-IV材料

納米涂層（配備液體前體輸送裝置）

耐水納米涂層：印刷電路板表面處理

防腐納米涂層：科研，醫(yī)療植入物

關鍵詞：真空泵輸送系統

熱門產品

產品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
YZD08-2C等離子清洗器	面議	北京市	北京博雅創(chuàng)新科技發(fā)展有限公司	2023-06-14	在線詢價
PT-03-LF等離子清洗器	面議		北京天科創(chuàng)達科技有限公司	2023-06-10	在線詢價
等離子清洗器	面議		上海默津儀器設備有限公司	2023-06-06	在線詢價
等離子清洗器YZD08-5C	面議	北京市	北京博雅創(chuàng)新科技發(fā)展有限公司	2023-05-30	在線詢價
GV10x順流等離子清洗器	面議	天津市	天津奧辛博科技有限責任公司	2023-05-12	在線詢價
眾瀕小型射頻真空等離子清洗機實驗室儀器	￥60000	上海市	上海眾瀕科技有限公司	2022-09-17	在線詢價

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