DN500熱式氣體質(zhì)量流量計概述：
氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。
DN500熱式氣體質(zhì)量流量計
應用場合：
■公用工程---電﹑氣﹑ 水處理的監(jiān)控
管道的氣體；通用系統(tǒng)；沼氣；煤氣；天然氣；液化氣；鍋爐預熱空氣
■石油與天然氣工業(yè)
能量交換；填井氣回收； 燃氣計量；氣體質(zhì)量分析；泄漏氣測試；天然氣測量；火炬氣的監(jiān)控
■電力行業(yè)
燃料系統(tǒng)中氣體分配過程中的氣體測量；鍋爐及輔助系統(tǒng)中各種氣體的測量；燃氣爐中氣體測量；氫氣測量；電廠高爐的一次風、二次風的測量
■化學行業(yè)
煙氣循環(huán)監(jiān)測；采樣系統(tǒng)中氣體流量計量；引風機的氣體流量計量；化肥廠氨氣測量 ；電池工廠各種氣體流量測量
■冶金行業(yè)
鋼鐵廠加氣測量；煉鐵廠高爐煤氣的測量；焦化廠焦爐煤氣的測量；軋鋼廠加熱爐燃氣（高爐煤氣、焦化煤氣、天然氣等）的測量控制；熱處理淬火爐等的氫、氧、氮等氣體的控制
■紙漿與造紙行業(yè)
廢水處理系統(tǒng)中氣體的測量；煙道流量監(jiān)控；鍋爐回收二次/三次空氣；鍋爐的燃氣和空氣送風測量
■食品及醫(yī)藥行業(yè)
加工操作中新鮮空氣的加入；啤酒廠中的二氧化碳處理；瓶子消毒器中的熱空氣的流量；熱氧化過程中氣體流量測量；通風系統(tǒng)；鍋爐進氣﹑廢氣﹑過程控制
■環(huán)保
沼氣利用過程中的氣體測量；處理過程中氣體測量；污水處理過程中曝氣池的氣體測量；煙筒煙道排氣監(jiān)測SO2和NOX的排量
■其他行業(yè)
工廠壓縮空氣測量；煤粉燃燒過程粉/氣配比控制燃料；水泥工業(yè)豎式磨粉機排放熱氣流量控制
的工作原理：
uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度*，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題，實際應用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。
在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：
式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。
如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。
