蔡司三次元,蔡司坐標(biāo)測量儀三坐標(biāo)測量機(jī)的檢測系統(tǒng)可以給出測球中心點(diǎn)在坐標(biāo)系中的精確位置。當(dāng)測球沿著工件的幾何型面移動(dòng)時(shí)，就可以得出被測幾何面上各點(diǎn)的坐標(biāo)值;這些位置測量數(shù)據(jù)經(jīng)計(jì)算機(jī)軟件處理，就可以精確地給出被測工件的幾何尺寸及形位誤差等。
蔡司三次元,蔡司坐標(biāo)測量儀三坐標(biāo)測量機(jī)由硬件和軟件組成，其中測量機(jī)硬件由主機(jī)(包括光柵尺)，電氣系統(tǒng)及測頭等組成。
蔡司三坐標(biāo)測量機(jī)UMC850的X、Y、Z的3個(gè)軸由精密光柵實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，定位精度很高。它的立柱(主軸)在X方向的運(yùn)動(dòng)是由采用轉(zhuǎn)速平穩(wěn)的直流伺服電動(dòng)機(jī)來驅(qū)動(dòng)，通過壓力控制閥、流量控制閥、分流器、氣浮墊和精密氣浮靜壓導(dǎo)軌等執(zhí)行元件實(shí)現(xiàn)的。
蔡司三次元,蔡司坐標(biāo)測量儀機(jī)床要求立柱在X方向是空氣懸浮的無摩擦運(yùn)動(dòng)。三坐標(biāo)測量機(jī)的主機(jī)導(dǎo)軌是測量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)的重要部件，測量機(jī)多采用滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，氣浮靜壓導(dǎo)軌為主要形式。氣浮導(dǎo)軌由導(dǎo)軌體和氣墊等組成，同時(shí)還包括由氣源、穩(wěn)壓器、過濾器、氣管、分流器等組成的一套氣體裝置。
蔡司三次元,蔡司坐標(biāo)測量儀本機(jī)床的氣路由空氣壓縮機(jī)輸出的壓縮空氣經(jīng)過氣源凈化裝置進(jìn)入機(jī)床，氣路分為三路：一路進(jìn)入機(jī)床的X、Y、Z的3個(gè)坐標(biāo)軸的氣浮墊;一路進(jìn)入機(jī)床工作臺面下的4個(gè)氣浮墊;一路進(jìn)入工件真空吸盤。
故障現(xiàn)象：
三坐標(biāo)測量機(jī)的立柱在負(fù)X坐標(biāo)方向移動(dòng)速度不均勻，有時(shí)反向還不移動(dòng)。
故障檢查與分析：
機(jī)床采用的是氣浮靜壓導(dǎo)軌，在負(fù)X坐標(biāo)方向移動(dòng)速度不均勻應(yīng)該與氣源有關(guān)系，氣源空氣壓力不足或壓力不均勻都可能造成這種情況發(fā)生。經(jīng)過對機(jī)床的工作原理分析，認(rèn)為可能產(chǎn)生故障的原因是：①空氣過濾器阻塞;②管路有泄漏;③控制閥失靈。通過對以上3點(diǎn)內(nèi)容進(jìn)行檢查，進(jìn)入機(jī)床的空氣壓力為0.65MPa，查機(jī)床說明書整機(jī)氣壓要求為0.6~0.7MPa，氣壓滿足要求，排除了機(jī)床的空氣壓力問題。于是對三坐標(biāo)測量機(jī)的進(jìn)給控制系統(tǒng)進(jìn)行檢查。
蔡司三次元,蔡司坐標(biāo)測量儀從三坐標(biāo)測量機(jī)的伺服控制單元人手，逐一排查伺服控制單元的伺服軸驅(qū)動(dòng)器、速度傳感器、DC伺服電動(dòng)機(jī)等，步驟如下。
(1)檢查X軸DC伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)：
通電時(shí)電動(dòng)機(jī)在+X坐標(biāo)轉(zhuǎn)動(dòng)正常，而-X坐標(biāo)轉(zhuǎn)動(dòng)不正常。檢查電動(dòng)機(jī)的機(jī)械傳動(dòng)部分，給機(jī)床斷電，用手去盤電動(dòng)機(jī)，發(fā)現(xiàn)電動(dòng)機(jī)在無傳動(dòng)鋼帶(鋼帶用來聯(lián)接導(dǎo)軌和立柱伺服電動(dòng)機(jī)的齒輪傳動(dòng)副的滾動(dòng)輪)時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)無阻滯(時(shí)松時(shí)緊)現(xiàn)象。有鋼帶時(shí)電動(dòng)機(jī)反向轉(zhuǎn)動(dòng)鋼帶很緊盤不動(dòng)(正常是可以盤動(dòng)的)。并且在x坐標(biāo)導(dǎo)軌上發(fā)現(xiàn)有輕微的擦痕。
(2)檢查氣路系統(tǒng)
檢查氣路系統(tǒng)中的空氣過濾器、油水分離器、蔡司三次元,蔡司坐標(biāo)測量儀空氣流量閥等以及氣路中的壓縮空氣是否干凈(不能有雜質(zhì))，是否含有水分和油分(一定不能含有水和油)。
故障解決方法：
造成此故障的原因是：由于空壓機(jī)對空氣壓縮的同時(shí)會(huì)把空氣中的油分子、蔡司三次元,蔡司坐標(biāo)測量儀水分子壓縮成油和水，同時(shí)空壓機(jī)工作時(shí)有一部分潤滑油也進(jìn)入到壓縮空氣中;壓縮空氣中的油和水等雜質(zhì)隨著壓縮空氣進(jìn)入到平衡氣缸和氣浮墊。其后果會(huì)造成當(dāng)測量機(jī)工作時(shí)油和水附在導(dǎo)軌上，使導(dǎo)軌的直線度改變;當(dāng)測量機(jī)不工作時(shí)管路中的油滴可能會(huì)堵塞氣浮墊的氣孔，使氣浮墊不能正常浮起，造成氣浮墊與導(dǎo)軌的摩擦而損壞測量機(jī)，還會(huì)腐蝕氣浮墊和平衡氣缸。雖然測量機(jī)都配置有油水分離器或前置過濾器，但如果管路中的油和水較多，過濾器很快就會(huì)達(dá)到飽和而無法過濾，水和油等雜質(zhì)就會(huì)進(jìn)入測量機(jī)，氣浮墊與導(dǎo)軌之間的氣隙小于6um的規(guī)定要求，使氣浮墊與導(dǎo)軌之間產(chǎn)生了摩擦，造成了氣浮墊移動(dòng)不靈活。
蔡司三次元,蔡司坐標(biāo)測量儀為此必須采取多級前置過濾的方法，除去油和水等雜質(zhì)。為此我們在機(jī)床的氣路中再單獨(dú)接了一空氣過濾裝置和油水分離器，進(jìn)一步過濾掉空氣中的雜質(zhì)和分離出空氣中的油和水，從而提高了壓縮空氣的質(zhì)量。再通過不銹鋼管把凈化后變干凈的空氣送到機(jī)床去。另外從空壓機(jī)排出的壓縮空氣中，包含有粒度為0.01~0.08um的壓縮機(jī)油微粒，這些微米級以下的顆粒，一般過濾器無法過濾，要求濾芯非常的精細(xì)。
蔡司三次元,蔡司坐標(biāo)測量儀建議用高精密的過濾器。用*反復(fù)清潔17號氣浮墊的氣路，直至氣浮墊變靈活為止。實(shí)踐證明，采用該方法*地解決空氣質(zhì)量造成的三坐標(biāo)測量機(jī)立柱移動(dòng)不均勻的問題。
