我公司是德國(guó)海德漢公司在中國(guó)的獨(dú)資公司，總部設(shè)在北京，在香港、上海、深圳、哈爾濱、沈陽(yáng)、西安、成都、武漢、寧波和南京設(shè)有分公司和辦事處。海德漢是一家研發(fā)和制造光柵尺，角度、旋轉(zhuǎn)編碼器，長(zhǎng)度計(jì)，數(shù)控系統(tǒng)，測(cè)頭和數(shù)顯表等的專業(yè)公司。產(chǎn)品遍布*，具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，包括機(jī)床行業(yè)、自動(dòng)化設(shè)備制造行業(yè)、半導(dǎo)體和電子器件設(shè)備制造業(yè)、航空航天、紡織和印刷機(jī)械以及電梯等行業(yè)。

如果光柵尺能夠測(cè)量一個(gè)新的維度，那將變得非常新奇。海德漢公司現(xiàn)在就推出了一款1Dplus光柵尺。經(jīng)過(guò)多次研發(fā)后，海德漢公司設(shè)計(jì)出了一款*的創(chuàng)新型二維光柵尺，它可以測(cè)量某個(gè)工作臺(tái)或設(shè)備運(yùn)動(dòng)時(shí)的線性導(dǎo)向誤差及溫漂誤差，因而可以對(duì)這些誤差進(jìn)行快速處理和補(bǔ)償。這就使系統(tǒng)在初次測(cè)量時(shí)就能精確地完成任務(wù)。

目前1Dplus二維光柵尺醉可能的應(yīng)用領(lǐng)域包括平面工作臺(tái)、龍門運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)、晶圓設(shè)備以及大型純平顯示器的生產(chǎn)和測(cè)試，希望提升任何運(yùn)動(dòng)平臺(tái)性能的用戶都將從中受益。

1Dplus二維光柵尺具有真正革命意義的1Dplus編碼器無(wú)摩擦，并在兩個(gè)維度上都有光柵，配有兩個(gè)或三個(gè)掃描部件，可在X和Y方向上進(jìn)行同時(shí)測(cè)量。三個(gè)掃描部件可計(jì)算支撐掃描部件支架的旋轉(zhuǎn)角度。這些正交編碼器光柵可以對(duì)新維度進(jìn)行精確地測(cè)量，它們既測(cè)量左右方向（X軸）的運(yùn)動(dòng)，也測(cè)量上下方向（Y軸）的運(yùn)動(dòng)（通過(guò)控制進(jìn)行補(bǔ)償）。海德漢早期和當(dāng)前使用的1Dplus編碼器分別是干涉型線性光柵和LIF400 1Dplus（見(jiàn)圖）。測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)是熱膨脹系數(shù)為0ppm/K的DIADUR。當(dāng)前測(cè)量長(zhǎng)度為300×2mm，今后計(jì)劃大幅度提高此值。1Dplus本身規(guī)格為20×4.9mm。

1Dplus的X軸測(cè)量精度等級(jí)為±1 μm，包括一個(gè)參考標(biāo)記。光柵周期為8 μm；信號(hào)周期為4μm。