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四點探針與電阻率測試設(shè)備

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  • 型號
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  • 所在地
  • 更新時間2020-09-03
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量403
  • 人氣值2532
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四點探針與電阻率測試設(shè)備 產(chǎn)品詳情

Signatone 公司生產(chǎn)制造的QuadPro 制程發(fā)展電阻率測量系統(tǒng)包含了手動和自動的測量系統(tǒng)。手動系統(tǒng)包含一個滾珠軸承的四點探針機(jī)臺,為因應(yīng)使用的需要,手動機(jī)臺往后可以升級增加自動機(jī)臺的功能.自動機(jī)臺系統(tǒng)是由計算機(jī)控制馬達(dá)帶動的,在測量100毫米、125 毫米、150 毫米、200 毫米、300 毫米的待測樣品時,可設(shè)定自動測量9、25、49、或121 個測試點.系統(tǒng)使用四點探針,雙架構(gòu)測試方式,并整合了目前好的測量儀表可達(dá)到在1mΩ/□至2MΩ/□間小于1% 的誤差.系統(tǒng)的準(zhǔn)確度(Accuracy)與校準(zhǔn)(Calibration)可追朔至美國國家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)。

其它特點:

? 平均電阻率(Resitivity)、電阻率標(biāo)準(zhǔn)差(Standard Deviation)、平均片電阻(Sheet Resistance)、片電阻標(biāo)準(zhǔn)差

? 電阻溫度系數(shù)(TCR, Temperature Coefficient of Resistance)

使用自動溫度控制器與溫控待測樣品載臺(選用)及儀表測量電阻溫度系數(shù)

? 測量結(jié)果可以用二維(2D)或三維(3D)方式圖形表示

? 采用雙架構(gòu)測試方式(Dual Configuration)以達(dá)到好的系統(tǒng)準(zhǔn)確性(Accuracy)與重復(fù)性(Repeatability)

? 待測樣品大小可由10 毫米到300 毫米

? 在每個待測樣品可上可自動測量高達(dá)49個可追朔至美國國家標(biāo)準(zhǔn)局的測試點

QuadPro Automatic System (自動系統(tǒng))

自動的QuadPro 系統(tǒng)包括計算器、歩進(jìn)馬達(dá)控制單元、機(jī)臺本體、200 毫米或者300 毫米隔離的待測樣品載臺(Isolated Chuck)。

系統(tǒng)軟件的設(shè)計讓使用者可針對測量需求選擇在每個待測樣品上測量1、5、9、25 或者49 個自動測試點,并可自動繪圖顯示測量結(jié)果。使用者并可設(shè)定測試點在待測樣品上的分布為方型或圓性。

為提升測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與統(tǒng)計的有效性,軟件可定義待測樣品邊緣的測量數(shù)據(jù)是否被采用。

在測量開始時,系統(tǒng)軟件自動搜集阻值范圍,并據(jù)以作較好的儀表設(shè)定。系統(tǒng)采用的雙架構(gòu)測試方式可消除因四點探針頭結(jié)構(gòu)誤差所產(chǎn)生的測量誤差,以提升系統(tǒng)測量的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。

系統(tǒng)軟件會控制并紀(jì)錄每個測量點的位置與測量值,測量的結(jié)果如片電阻、電阻率和V /I(電壓/電流)可在同一個測量結(jié)果的表格中表示。

在完成全部測試點測量時,系統(tǒng)會用等高線圖展示測量結(jié)果,此等高線圖可在二維圖與三維圖間輕易的切換觀看.

電阻率與片電阻的平均值及標(biāo)準(zhǔn)差都會顯示在等高線圖上

QuadPro TCR Option (電阻溫度系數(shù)測量選用項)

電阻溫度系數(shù)量測選用項整合了待測樣品溫度控制、儀表控制與溫度系數(shù)運算的能力以完成電阻溫度系數(shù)量測的功能。

Signatone 提供了多種溫度范圍的溫控待測樣品載臺系統(tǒng)供使用者選用。使用者可依測量需要設(shè)定開始溫度、截止溫度與在每個溫度點停留多少時間后在開始量測。

溫度與量測得到的電阻值會存在同一個表格或圖表內(nèi),以方便后續(xù)的分析使用。

一般常被采用的溫控待測樣品載臺系統(tǒng)為室溫至350°C。但是除350°C 溫控待測樣品載臺系統(tǒng)之外,Signatone 也提供低至-55°C 與高至600°C 的溫控待測樣品載臺系統(tǒng)。


一般QuadPro 的系統(tǒng)架構(gòu)包括一臺吉時利(Keithley)的2400 儀表(Source Measurement Meter)。吉時利2400 可測量的電阻范圍為1mΩ至2MΩ。若使用者要測量更高電阻的材料,QuadPro 的系統(tǒng)架構(gòu)將包括安捷倫(Agilent)的4156 參數(shù)分析儀,并采用隔離式的三軸系統(tǒng)架構(gòu),如此架構(gòu)的QuodPro 系統(tǒng)的電阻測量范圍為100mΩ 至10GΩ。

為達(dá)到佳的測準(zhǔn)確,QuadPro 采用美國ASTM 標(biāo)準(zhǔn)F84-99 測試方法的雙架構(gòu)測試方式以補(bǔ)償因為四點探針頭間距可能確或測接近導(dǎo)電層邊緣而造成的測誤差.Signatone 同時也提供準(zhǔn)確可追朔至美國國家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)的校準(zhǔn)片,適當(dāng)?shù)氖褂眯?zhǔn)片和QuadPro 提供的校準(zhǔn)程序,可確保系統(tǒng)的準(zhǔn)確性優(yōu)于1%?

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Four Point Probe Head (四點探針頭)

Signatone 提供兩大系的四點探針頭供使用者選用;SP4 HT4

SP4 四點探針頭是被大多數(shù)應(yīng)用所采用的四點探針頭,它是由直線排的塑鋼探針?biāo)M成.SP4 四點探針頭提供選項以適應(yīng)各種應(yīng)用:

? 探針間距:0.0400.050、0.0625 英寸

? 探針針壓:45、85、180

? 探針材質(zhì):碳化鎢(Tungsten Carbide)、鋨(Osmium)

? 探針半徑:0.0016、0.005、0.010 英寸

HT4 四點探針頭表面看起來與SP4 四點探針頭類似,但是HT4四點探針頭適用陶瓷做的,故適用于高溫與高電阻的測量,HT4 四點探針頭可工作至650oC,而且HT4 四點探針頭的耐高溫同軸接線設(shè)計使其可測量的電阻值高達(dá)10GΩ

? 探針間距:0.050、0.0625 英寸

? 探針針壓:180

? 探針材質(zhì):碳化鎢(Tungsten Carbide)、鋨(Osmium)

? 探針半徑:0.0016、0.005、0.010 英寸

QuadPro Test & Calibration (測試與校準(zhǔn))

Pro4-440N configuration (系統(tǒng)架構(gòu))電壓與電(V/I)測結(jié)果會記錄在軟件內(nèi).系統(tǒng)采用美國ASTM 標(biāo)準(zhǔn)F84-99 測試方法的雙架構(gòu)測試方式以補(bǔ)償因為四點探針頭間距可能確或測接近導(dǎo)電層邊緣而造成的測誤差.Signatone 同時也提供準(zhǔn)確可追朔至美國國家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)的校準(zhǔn)片,適當(dāng)?shù)氖褂眯?zhǔn)片和QuadPro 提供的校準(zhǔn)程序,可確保系統(tǒng)的準(zhǔn)確性優(yōu)于1%Pro4-440N 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)范圍是1mΩ/□至800KΩ/□.?

Pro4 Manual Four-Point Probe with Computerized Measurement System

(Pro4 手動四點探針臺與測軟件)

Signatone 1968 就已經(jīng)開始提供業(yè)界四點探針電阻率量測系統(tǒng),其中的Pro4 手動四點探針臺提供且方便量測片電阻(Sheet Resistivity)與體電阻(Bulk Resistivity)的有效方法。使用者只要手動下針并操作軟件上的測按鍵,軟件會自動控制吉時儀表做佳的電設(shè)定并得到準(zhǔn)確的測。

Pro4-440N configuration (系統(tǒng)架構(gòu))電壓與電(V/I)測結(jié)果會記錄在軟件內(nèi).系統(tǒng)采用美國ASTM 標(biāo)準(zhǔn)F84-99 測試方法的雙架構(gòu)測試方式以補(bǔ)償因為四點探針頭間距可能確或測接近導(dǎo)電層邊緣而造成的測誤差.Signatone 同時也提供準(zhǔn)確可追朔至美國國家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)的校準(zhǔn)片,適當(dāng)?shù)氖褂眯?zhǔn)片和QuadPro 提供的校準(zhǔn)程序,可確保系統(tǒng)的準(zhǔn)確性優(yōu)于1%Pro4-440N 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)范圍是1mΩ/□至800KΩ/□.

Pro4 Software (軟件)使用者只需輸入待測樣品的大小、形狀、待測樣品邊緣包括部分的大小與點數(shù),Pro4 軟件會控制系統(tǒng)的、的擷取、顯示、打印與資的輸出(Export),使用者可設(shè)定要顯示的參數(shù)(如電阻、片電阻或電壓/),也可以定義/不良(Pass/Fail)的條件.點會在軟件上以圖樣標(biāo)示出來,同時提醒使用者將探針移至待測點.結(jié)束,數(shù)據(jù)的平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、大值與小值會被標(biāo)示出來,同時可打印數(shù)據(jù)含/不良品的報表.

Pro4-4400 configuration (系統(tǒng)架構(gòu))

Pro4-4400 系統(tǒng)與Pro4-440N 相同,但是不含計算器.使用者需自備計算器,計算器需含窗口軟件與一個RS-232 接口.Pro4 用于測量芯片或其它材料的電阻率或片電阻. Pro4 使用雙架構(gòu)測試方式和自動設(shè)定儀表以保證測量的準(zhǔn)確性.系統(tǒng)包括手動四點探針臺、二個四點探針頭、吉時利儀表(Keithley 2400)與軟件.

Pro4-4000 configuration (系統(tǒng)架構(gòu))

Pro4-4000 不包括計算器與儀表,但是包含軟件.使用者需自備計算器與吉時利儀表(Keithley 2400)系統(tǒng)包括手動四點探針臺、二個四點探針頭與軟件.

Manual Four-Point Probes (手動四點探針臺)

Signatone 生產(chǎn)各式電阻率測量設(shè)備,包括簡易型四點探針臺與四點探針頭.

S-302-4

右圖是四吋的四點探針臺,可測量大至四吋的芯片,含四吋鐵氟龍(Teflon)待測樣品載臺。四點探針臺也有6"、8”與12”的.

Four Point Probe Heads (四點探針頭)

除了四點探針臺之外,Signatone 也生產(chǎn)四點探針頭。

SP4 系列四點探針頭是設(shè)計給在室溫使用的。

HT4 系列四點探針頭是設(shè)計給在高溫使用的。

一般四點探針頭是由四支直線排列的探針組成,但是Signatone 也提供不同排列方式的訂制探針頭,例如四支針成矩形排列.

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