VMB閥門箱產品介紹：
VMB閥門分配箱，是一種內嵌多支路，實現高純氣體或液體分流的閥門箱。
VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點，壓力可被單獨地調控，從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能，因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維
VMB的每一部份。除此以外，設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下，吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。
半自動VMB閥門箱介紹：
半自動分配箱（VMB）：通過采用PLC控制，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥等裝置，實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導
體工藝生產過程中對高純介質的連續(xù)供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。
適用氣體：易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
適用行業(yè)：Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校實驗室等。
面板基本配置：
進口手動隔離閥
進口氣動隔膜閥
進口壓力傳感器
吹掃壓力表
單向閥
減壓器
過濾器
面板可選配置
真空發(fā)生器
測試端口閥門
