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ONYX系列圓形磁控濺射陰極

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2020-09-14
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區(qū)深圳市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量107
  • 人氣值2327
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深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術開發(fā)、應用與貿易于一體的專業(yè)公司。產品廣泛運用于真空行業(yè)、鍍膜、太陽能、半導體、科學研究、電力行業(yè)、航空航天、*制造等領域。作為多家的真空設備及真空儀器供應商的代理商,我們可以為客戶提供較佳的全套真空解決方案,解決客戶真空應用的難題,并且使客戶的成本降到低。我們代理銷售的產品如下:

瑞士Inficon (英??担?/span>膜厚控制儀及探頭、石英晶振片、真空計、檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。
美國Agilent(安捷倫,原瓦里安)渦旋式干泵、分子泵、氦質譜檢漏儀。
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美國Angstromsciences磁控濺射陰極、靶材、反應氣體控制器。

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ONYX系列圓形磁控濺射陰極美國AngstromSciences ONYX系列圓型磁控濺射陰極的設計,以滿足嚴格的薄膜均勻,靶材利用率,和濺射速率規(guī)格。除了由的異型磁鐵和水冷技術所提供的*的性能測試結果,Angstrom Sciences磁控濺射陰極還提供許多其他優(yōu)異性能。市場價: 0.00價格:0.00型號: ONYX-1 ONYX-2 ......
ONYX系列圓形磁控濺射陰極 產品詳情

美國AngstromSciences ONYX系列圓型磁控濺射陰極的設計,以滿足嚴格的薄膜均勻,靶材利用率,和濺射速率規(guī)格。除了由的異型磁鐵和水冷技術所提供的*的性能測試結果,Angstrom Sciences磁控濺射陰極還提供許多其他優(yōu)異性能。


Angstrom Sciences公司生產的的圓形磁控濺射陰極作為已成為*的新標準,除了Angstrom Sciences的*優(yōu)點,還提供許多其他性能優(yōu)點。
1、多功能,緊湊型設計
其緊湊的設計使我們的圓形磁控管適合于任何新建或改造應用,包括復雜的集群組件小的真空室。
2、兼容各種形式的電源
低阻抗頭提供了射頻,直流 ,中頻直流,直流脈沖,微波電源的兼容性。
3、標準配件
我們使用ISO標準配件,以及Conflat?金屬密封法蘭。所有附件的維護部分處于大氣中,并使用標準的O形圈密封,易于安裝及維護。
4、尺寸齊全
圓形磁控陰極可選從1到16英寸直徑的規(guī)格,標準或自定義配置。
5、快速,簡便的更換靶材
我們的螺紋式靶材卡環(huán)和陽極屏蔽罩允許你不使用輔助工具即可更換靶材。他們內置的可調節(jié)性也可以讓你輕松適應不同厚度的靶材。
6、高真空度,高功率
ONYX ?磁控管可以在極低的壓力(10-4 Torr)的范圍內操作, *的直接冷卻設計,可提供功率密度高達250 watts/in2 ( 30 watts/cm2 ) 。
7、高濺射速率,高性能
更高的功率密度,濺射速率更快。在保持高濺射速率的同時,大化鍍膜面積和靶材利用率(通常在40%的范圍內)
8、優(yōu)秀的均勻性
由于我們的異型磁鐵,我們的磁控管也提供更大的沉積均勻性 - 經常在± 3-5 %的范圍內。
9、*
所有Angstrom Science的磁控陰極對做工和用料的缺陷保修兩年。磁控陰極是我們的核心業(yè)務,我們隨時準備著以確保您的滿意度。

選項表格:

Target size (in.)Indirect Target Cooling (clamped)Indirect Target Cooling MAG.II DesignDirect Target Cooling (clamp or bond)Direct Target Cooling MAG. II Design"Add" High Temperature 200 degC continuous operation capability / UHV Compatible (10-9 Torr)"Add" In-situ Tilting"Add" Standard Internal Flex"Add" Internal welded fixed angle"Add" Manual Shutter"Add" Pneumatic Shutter"Add" Cross Contamination Shield"Add" Gas Inlet Ring"Add" External utility enclosure"Add" External strain relief
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關鍵詞:標準
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