Gas-100在線四極質(zhì)譜殘余氣體分析系統(tǒng)

一. 應(yīng)用：

n 真空科學(xué)工業(yè)

n 航空航天工業(yè)

n 電子工業(yè)

n 環(huán)境科學(xué)

n 表面科學(xué)

n 痕量氣體分析

n 在線工業(yè)檢測

n 氣體檢漏

n 催化表征

二. 主要參數(shù)及性能指標(biāo)：

n 質(zhì)量范圍： 1-200amu

n 靈敏度：5×10-4法拉第杯

n 分辨率：≤1amu，10%峰高

n 響應(yīng)時間：ms 級

n 檢出限：≤10ppm（FC）

n 分析系統(tǒng)極限真空度: 2×10-7mbar

n 小可檢分壓強(qiáng)：5×10-11mbar（N2）法拉第杯

n 分析系統(tǒng)工作真空度: 5×10-4mbar

n 允許烘烤溫度：＜200℃

n 大取樣壓力：1個大氣壓

n 大氣體監(jiān)測種類：12

n 啟動時間 ：5分鐘

n 大環(huán)境溫度 ： 35 °C

n 功率：220W

三. 結(jié)構(gòu)簡介

Gas-100在線四極質(zhì)譜殘余氣體分析系統(tǒng),四極質(zhì)譜,分子泵,真空計，前級泵,取樣微調(diào)閥，旁抽管路和電磁閥，計算機(jī)組成。殘余氣體分析質(zhì)譜儀裝入真空系統(tǒng)中，*擴(kuò)展了四極質(zhì)譜的應(yīng)用范圍，可以一機(jī)多用，既可作殘余氣體分析儀，又可作真空系統(tǒng)的檢漏儀，可以使用多種氣體作示漏氣體。

采用抗氧化敷釷銥絲雙燈絲和法拉第接收杯四極質(zhì)譜, 通過RS232接入筆記本電腦, 由的控制軟件分析, 可進(jìn)行全譜、棒譜、多離子譜的分析，在友好的WINDOWS界面下操作，給出可靠的分析測試結(jié)果及明晰的用戶報告，完成對氣體的分壓測量和成份分析
取樣系統(tǒng)采用進(jìn)口的毛細(xì)管和電磁閥組成, 分析系統(tǒng)可同過閥門直接接入工藝真空室采樣,或者直接對大氣取樣。可在線原位分析監(jiān)測真空容器的殘余氣體，又可檢測濺射鍍膜或者各種反應(yīng)室內(nèi)工藝氣體成分, 定性或定量分析氣體的分壓強(qiáng), 優(yōu)化工藝過程參數(shù), 提高產(chǎn)品質(zhì)量, 并可對真空系統(tǒng)進(jìn)行檢漏. 儀器具有完備的功能，可做氣體分析及有機(jī)物監(jiān)測，可以實現(xiàn)和氣體相關(guān)的在線或離線氣體成分, 定性或定量分析。

四、儀器特點(diǎn)

n 動態(tài)、連續(xù)取樣，實時、在線氣體分析；響應(yīng)速度快，數(shù)據(jù)分析功能強(qiáng)大。

n 儀器集成化、自動化程度高，體積小，抗*力強(qiáng)。

n 雙燈絲，并配有燈絲保護(hù)裝置，的延長燈絲的使用壽命。

n 機(jī)身附帶兩級真空泵，應(yīng)用范圍可從高壓到超高真空，根據(jù)用戶需求組合配置。

n 精加工的四極桿質(zhì)量分析器和高精度安裝調(diào)試技術(shù)保證近軸電場穩(wěn)定。

n 系統(tǒng)內(nèi)部合理優(yōu)化的散熱流路設(shè)計。

n 分子泵和質(zhì)量分析器采用不同的減震措施，確保儀器運(yùn)行的高可靠性。

n 取樣范圍從常壓到超高真空。

n 軟件功能強(qiáng)大，采用Winsow操作界面，簡單易學(xué)。

五、主要配置清單