任氏巨源微波化學氣相沉積爐特點：1. 高溫微波化學氣相沉積爐，采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的非易燃易爆材料，2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設(shè)置，控溫穩(wěn)定度好，熱慣性小。同時加熱多個溫區(qū)，且加熱區(qū)長度可調(diào)。3. 可通各種氣氛，抽真空有機械泵、擴散泵和分子泵，可達10-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)），耐高溫、耐腐蝕；
一、任氏巨源微波化學氣相沉積爐特點：
1. 高溫微波化學氣相沉積爐，采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的非易燃易爆材料，
2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設(shè)置，控溫穩(wěn)定度好，熱慣性小。同時加熱多個溫區(qū)，且加熱區(qū)長度可調(diào)。
3. 可通各種氣氛，抽真空有機械泵、擴散泵和分子泵，可達10-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)），耐高溫、耐腐蝕；
5、保護管采用耐高溫合金管 ，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；
6、爐體配有自動冷卻風扇，降低溫度；
7、真空系統(tǒng)：機械泵 擴散泵和分子泵，真空密度計
8、可通過電腦全程監(jiān)控和調(diào)試；
二、任氏巨源微波化學氣相沉積爐產(chǎn)品參數(shù)：
型號/model | WBMW-QXCJ4 | ||
可加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 | ||
微波頻率 | 2.45GHZ±50MHz | ||
加熱方式 | 純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱、混合加熱 | ||
微波功率/KW | 4 (功率可調(diào)) | ||
溫度測試元件 | 微波場傳感器 | ||
控溫精度/℃ | ±2（微波場傳感器） | ||
加熱管材質(zhì) | 石英管 | 高溫合金管 | 剛玉管 |
加熱溫度/℃ | 1200 | 1200 | 1600 |
管徑(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm | ∅45/∅35×1200，可選配，大外徑∅60 | ||
加熱速度 | ≦200 | 升溫速率不限 | ≦50 |
恒溫區(qū)長度 | 標配恒溫區(qū)長度100mm，恒溫去長度100mm以上可定制 | ||
溫區(qū) | 可多溫區(qū)同時加熱 | ||
氣路法蘭 | 304不銹鋼法蘭 | ||
質(zhì)量流量控制 | 美國Alicat質(zhì)量流量&控制器、七星華創(chuàng)質(zhì)量流量&控制器 氣柜、氣路及各類閥門，可配套計算機自動控制系統(tǒng)及軟件 | ||
氣路數(shù)量 | 2路或3路 | ||
流量范圍 | 0-1SLM(標準升/分，可選配）氮氣標定 | ||
精度 | ±0.2%F.S | ||
響應(yīng)時間 | ≤1sec | ||
工作壓力 | 進氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力），流量規(guī)格≤10SLM | ||
系統(tǒng)連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀 | ||
系統(tǒng)真空范圍 | 標準大氣壓～10-3Pa | ||
真空泵 | 簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭 10-1Pa真空機械泵及真空計 10-2Pa真空機械泵、擴散泵及真空計 10-3Pa真空機械泵、分子泵及真空計 | ||
爐腔尺寸/mm | 700X350X530 | ||
加熱腔(標配) | 0.5-3L 2個 | ||
加熱腔大小 | 0.94L，2.12L，3.8L | ||
升溫速率(標配) | 0～1000℃/min可根據(jù)實際任意設(shè)定，可編程、分段加熱 | ||
外型尺寸/mm | 1500´750´1560 | ||
微波泄漏/ mw/cm2 | ≤0.4 | ||
提供相關(guān)配件 | 防護手套×1、中文說明書×1 | ||
保質(zhì)期 | 整機免費保修1年 | ||
