應(yīng)用
- 半導(dǎo)體工業(yè)
- UHP液體化學(xué)品輸配系統(tǒng)
功能特性
- 獲得的雙膜片設(shè)計
- 接液部件材質(zhì)為氟烷氧基 (PFA)
- 即使在安裝后也可實現(xiàn)360°旋轉(zhuǎn)
- 防護(hù)等級高達(dá)IP 65或IP 67
- 可選：附著式指示器，參見數(shù)據(jù)手冊PE 82.11
描述
HYDRA-line
系列產(chǎn)品 HYDRA-line系列壓力測量儀表是我們和半導(dǎo)體企業(yè)（威卡客戶）聯(lián)合開發(fā)而成。所有該系列產(chǎn)品都滿足過程設(shè)備和UHP化學(xué)品輸配系統(tǒng)的特殊應(yīng)用要求。
HYDRA-Sensor壓力傳感器具有高精度、高可靠性、超潔凈的接液部件和表面。此外，所有接液部件的生產(chǎn)、清潔組件的裝配、校驗和包裝均是在100級無塵室中完成的。
雙重安全
獲得的HYDRA雙膜片系統(tǒng)可以安全可靠地將壓力傳感器與工作介質(zhì)隔離開。此外，該型號產(chǎn)品還會將HF或HCI蒸汽等擴散介質(zhì)排到外部環(huán)境中，從而可防止造成錯誤的測量結(jié)果或破壞傳感器元件。
我們不保證市場上銷售的產(chǎn)品能夠在所有應(yīng)用中*隔離化學(xué)品。在有些應(yīng)用中，可能會出現(xiàn)化學(xué)品透過膜片擴散的情況。
