泄漏測試流量計(jì)

質(zhì)量流量計(jì)傳感器采用微機(jī)械加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)微小流量測量，其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償，廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。

工作原理：

感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，在芯片上，一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上，采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高，當(dāng)傳感器工作時(shí)，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布，如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計(jì)算:

式中：氣體流動方向?yàn)椋?，速度為ｖ，ａ為擴(kuò)散率。如上圖（式）所示，當(dāng)氣體流過芯片時(shí)，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計(jì)算流體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

·產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號輸出一體，并可實(shí)現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門

·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計(jì)的微流量測量靈敏度顯著提升

·微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實(shí)現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化

·單個(gè)芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計(jì)的量程范圍大大提高

·機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì)，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠

·結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，流量計(jì)的壓力損失達(dá)到*小化

·新的傳感技術(shù)，使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠

· 零點(diǎn)自校功能，測量更準(zhǔn)確

·多種氣體實(shí)際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償

·快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理

·規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定

·精度等級高，滿足用戶高精度測量要求

·的流量計(jì)報(bào)警功能，使監(jiān)控更可靠

·操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)

·運(yùn)用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的優(yōu)選

技術(shù)參數(shù)：

·測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

·測量管徑：DN3，6，8，10，12

·流量范圍：30，60，80，100，300，600，800，1000sccm；10，20，30，50，80，100,500SLPM

·流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS

·工作溫度范圍：-25℃-55℃

·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

·供電電源：24VDC±10%；

·輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

·環(huán)境溫度：-25℃-55℃

·顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。

目前比較常見的泄漏測試方法：

直壓法，差壓法，流量傳感器流量法，背壓流量檢測法，壓力/真空腔測量檢測，氦氣泄漏檢測等方法.
1、直壓法－檢測操作過程是這樣的：對工件的被測容腔在一定壓力條件下（具體壓力參數(shù)由生產(chǎn)線檢測工藝規(guī)程決定）進(jìn)行充氣、保持一定時(shí)間后，切斷被測工件和氣源氣路USON壓力傳感器記錄下此時(shí)的壓力示值，經(jīng)過一定時(shí)間（數(shù)秒或數(shù)十秒）后，再次讀取壓力示值并和前次記錄的壓力示值進(jìn)行比較。若被測容腔有泄漏，則兩次壓力示值有一個(gè)差值。此差值大小反映工件在檢測時(shí)間周期內(nèi)的泄漏狀態(tài)，差值越大表示工件泄漏越嚴(yán)重。只要此差值在允許范圍內(nèi)，即可認(rèn)為被測工件合格。反之，為不合格。
2、壓差法- 差壓型氣密儀的檢測操作過程和直壓型的差別主要是利用“標(biāo)準(zhǔn)品”作為參照物在相同的過程和狀態(tài)條件下， 比較被測工件與“ 標(biāo)準(zhǔn)品” 的差異來判斷被測工件是否合格。其檢測過程如下：
首先在氣密儀標(biāo)示的標(biāo)準(zhǔn)品端接上標(biāo)準(zhǔn)品（標(biāo)準(zhǔn)品可以是一個(gè)被用多種方法檢測合格并被確認(rèn)為可以作為衡量其他與之相同的被測工件標(biāo)準(zhǔn)的工件或特定制品），然后同時(shí)對標(biāo)準(zhǔn)品與被測工件容腔充氣（充氣壓力、時(shí)間等參數(shù)由工藝程確定），經(jīng)過一段數(shù)秒或數(shù)十秒的平衡時(shí)間后，將標(biāo)準(zhǔn)品與工件被測容腔*隔斷進(jìn)行數(shù)秒或數(shù)十秒的壓力監(jiān)視后比較二者的壓力示值差，這個(gè)壓力差就是工件被測容腔的壓力泄漏值，若其值在允許范圍內(nèi)內(nèi)認(rèn)為被測品合格，否則判為不合格。
3、大流量傳感器流量檢測法-流量式檢漏儀工作原理是向被檢工件內(nèi)不間歇充入一定壓力氣體，以質(zhì)量流量計(jì)或體積流量計(jì)感測充入工件氣體流量的變化，以此來判定工件泄漏量是否在工藝要求合格范圍內(nèi)。流量法的特點(diǎn)是測量信號與被測容積的大小無關(guān)，測量信號直接反映氣體泄漏量。若感測元件是差壓流量計(jì)則為差壓流量法，其檢漏儀為差壓流量檢漏儀；若是質(zhì)量流量計(jì)則為質(zhì)量流量法，其檢漏儀為質(zhì)量流量檢漏儀。通常采用質(zhì)量流量法。對于泄漏速率小于8.3立方厘米/秒的零件，一般不采用這種檢測方法。
4、背壓流量檢測法-這種流量檢測法是使用壓力傳感器測量由于被測零件對氣體的約束所造成的背壓。傳感器連接在通往被測零件的氣路上。有時(shí)使用變量限流閥，通過限制調(diào)節(jié)器的流量增加檢測儀的分辨率。
5、壓力/真空腔測量檢測-這種檢測方法需要使用氣密性空腔，在檢測過程中將被測零件封在其中。安裝壓力傳感器，測量腔內(nèi)的壓力。然后對零件或空腔充壓。系統(tǒng)測量腔內(nèi)壓力是否變化。檢測用的氣源始終是已知的固定量氣體。這項(xiàng)技術(shù)特別適用于密封的、無法直接沖壓或排氣的零件。
6、氦氣泄漏檢測-在其他對泄漏檢測精度要求低于0.001 立方厘米/秒的行業(yè)中，氦氣質(zhì)量光譜分析檢測方法被廣泛應(yīng)用。在大多數(shù)的設(shè)備的樣機(jī)應(yīng)用中，精度的要求不必要的，它們更關(guān)注于檢測時(shí)間與成本。在氦氣質(zhì)量檢測方法中，被檢測設(shè)備用氦氣加壓，質(zhì)量流量由檢測室的質(zhì)量光譜采樣分析儀檢測出來。這種方法的設(shè)備成本、維護(hù)與氦氣成本，相對于沒必要對低于103 SCCS 的泄漏速度進(jìn)行監(jiān)測的應(yīng)用更加昂貴，因此，該方法僅僅被典型地應(yīng)用在要求*苛刻的設(shè)備的泄漏檢測中。