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自動管式爐 電爐

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-06-04
  • 廠商性質生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)合肥市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量111
  • 人氣值1478
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合肥真萍電子科技有限公司是專業(yè)的從事環(huán)境與可靠性試驗設備及實驗 室儀器,防潮防氧化專業(yè)設備,烘烤制程設備等產(chǎn)品專業(yè)供應商,由一批多年從事環(huán)境試驗設備、防潮防氧化設備行業(yè)的專業(yè)工程技術人員為核心,具有設計、制造、銷售及售后服務能力的綜合性企業(yè)。
  

公司主要生產(chǎn)和經(jīng)營:
  環(huán)境與可靠性試驗設備:高低溫試驗箱,恒溫恒濕箱,老化箱,快溫變化箱,                         霉菌試驗箱,鹽霧腐蝕試驗箱;

  防潮防氧化專業(yè)設備:防潮箱、氮氣柜、潔凈氮氣柜、恒溫恒濕柜、氧濃度控制

                       柜、真空柜、環(huán)境溫濕度監(jiān)控;PP/PVC氮氣柜;

    烘烤制程設備:HMDS涂膠烤箱、紅外/熱風烘箱、電腦光刻固化無氧烤箱、充氮

                 烤箱、電腦式真空干燥箱、可編程潔凈多腔體烘箱、隧道烘箱、

                 電腦無氧烤箱、高溫烤箱、等服務。
  

    本公司自成立之初,一直秉承客戶*的服務理念,滿足客戶持續(xù)增長的需求,不斷為客戶提供品質優(yōu)良、價格合理的產(chǎn)品,降低客戶的生產(chǎn)成本,提高客戶的競爭力,為客戶創(chuàng)造價值
  

    在廣大客戶的支持下,本公司的業(yè)務蒸蒸日上,在航空、航天、電子、光電、半導體、*、郵電、石油化工、制藥、醫(yī)療、生物工程、高等院校、科研單位等領域取得了良好的業(yè)績,已得到廣大客戶的認同和稱贊。目前服務的客戶遍布沿海各省。
  

   我們將努力為客戶提供一站式服務和全面的解決方案。*解決客戶的后顧之優(yōu),讓您安心的生產(chǎn),將麻煩留給我們。您選擇真萍科技就是選擇放心!
 

   主要服務客戶:臺積電、中芯、德州儀器、長電、BYD、 IPEC 、華東科技、蘇州晶方、合晶硅、 富士通、寧波芯健、松下、 三星、 立立電子、 中環(huán) 、萬向 、尚德電力 、華潤上華、華潤華晶、 *公司第8、12、15、21、41、43、58所、諾基亞 、西門子、富士康、英順達、廣達、龍騰光電、INTEL、京東方、三安光電、同方、德豪潤達、福州兆元、西安聯(lián)合、西安神光、 江淮、 奇瑞、 博物館、中科院化學所、中科院物理所 、中科院光電所 等各院所 * 各地方重點大學等等.

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一、設備名稱、型號:12寸晶圓自動管式爐二、系統(tǒng)組成2
自動管式爐 電爐 產(chǎn)品詳情

一、設備名稱、型號: 12寸晶圓自動管式爐


二、系統(tǒng)組成
2.1FAB上下料
 2個上下料口(并列)
 FOUP ID 識別
 Wafer位置識別
 操作啟動開關

2.2晶元輸送
2.2.1FBA開蓋
   FOUP固定,解鎖,取蓋
2.2.2晶元輸送機械手
   雙臂式傳輸
   高純度AL2O3托盤
   按規(guī)劃路徑將晶元從FOUP傳送至爐體裝  料腔中
2.2.3爐體開蓋
?將爐體裝料腔腔門打開

2.3爐體(熱處理)
2.3.1加熱腔
  外部采用不銹鋼外套,中部采用FEC加熱器和相應保溫材料,內部為石英爐管
  多層環(huán)形加熱器,有效使用高度 > 1000mm
  底部通入工藝氣氛,O2和N2可編程選擇
  煙氣冷凝回收
  底部具有自保護蓋體功能
  高溫焦油裂解功能
  降溫方式:鼓風機將空氣吹入爐管與加熱器之間的夾腔,強制風冷降溫。
  多路多層環(huán)形進氣,保證爐膛的冷卻可控
2.3.2裝料腔
石英支架,處理量為100PCS 12inch晶圓
升降采用移動式滑臺機構(無桿電缸),

2.4控制柜
2.4.1氣源箱
?對于空氣,O2,N2進行邏輯控制
?調節(jié)各路進氣的流量
2.4.2電源箱
?動力配電
?儀器儀表放置
?氧含量分析系統(tǒng)可選
2.5控制系統(tǒng)
?人機界面采用觸摸屏方式
?核心控制器采用嵌入式控制器
?超溫保護為獨立檢測器件
?具有氧含量檢測功能
?運動控制為伺服/步進控制單元
?傳輸為專業(yè)晶元傳輸機器人
?軟件具有功能:溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數(shù)據(jù)記錄,圖表顯示.

三、基本配置
3.1處理產(chǎn)品:12inch 晶圓
3.2處理量:90PCS/管,共180PCS
3.3加熱器:圓形FEC加熱板
3.4加熱區(qū)域:>1000mm
3.5外形尺寸:
    本體:2500×3500×3500(W×D×H)
    控制柜:800×600×2200(W×D×H)
3.6上料口:2
3.7機械手:1

四、技術指標
4.1長期使用溫度: 350℃,溫度上限:750℃;
4.2升溫速率:>30℃/min
4.3降溫速率:>5℃/min
4.4加熱功率:36kW(單爐);
4.5加熱溫區(qū): 3個;
4.6爐溫均勻性: ±7℃(350℃恒溫);
4.7程序控制:P.I.D控制;
4.8溫度控制方式: SSR
4.9控溫熱偶: K分度;
4.10氣氛: N2/O2;
4.11爐膛材料:石英玻璃;
4.12保溫材料:陶瓷纖維;
4.13氣氛控制:多路流量計調節(jié)進氣,流量計量程為24~240L/min;
4.14排氣系統(tǒng):在頂部設置排氣煙囪,用于廢氣排放,回收;
4.15設備重量:約2t;

*技術細節(jié)變動之處,恕不另行通知,具體設備參數(shù)以咨詢結果為準。


真萍科技作為專業(yè)的熱處理設備制造廠商,可根據(jù)客戶工藝需求定制您需要的滿意產(chǎn)品,有需求的客戶

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