中國臺灣菘啟工業(yè)有限公司設計和制造溫度測量解決方案，保證為您提供靈敏度、快速響應和一致的精度。并及時提供其創(chuàng)新的Tcwafer熱偶 多點熱電偶解決方案。

Tcwafer熱偶 多點熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）

溫度范圍：

低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）

高度：-150 to 1,200°C（焊接設計）

熱電偶選型：

● Type K (精度級別±1.1°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,372°C

● Type N (

精度級別±1.1°C or 0.4%)， 溫度范圍 -270 to 1,300°C

● Type E (

精度級別±1.0°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,000°C

● Type T (

精度級別±0.5°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 400°C

● Type R/S (

精度級別±1.5°C or 0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°C

晶圓材質：

硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底?？砂纯蛻粢蠖ㄖ苹?、形狀和尺寸。

主要規(guī)格：

4寸，6寸，8寸，12寸

擴展線：可選絕緣層材質，接頭類型。密封的扁平電纜，可在大氣中打到10-7托。長度由客戶選

傳感器引線：長達40英尺–可定制,

被覆材質：石英 陶瓷纖維 TEF

絕緣材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰*胺

線規(guī)：20 AWG – 40 AWG

a）主要型號有k/t/r(根據測溫范圍以及精度要求選型)

k型適合：0°c -600°c，精度級別為±1.1°c or ±0.4%

t型適合：200°c以下，精度級別為±0.5°c or ±0.4%

r型適合：0°c-1100°c，精度級別為0.1%

b)產品主要規(guī)格有：2寸/4寸/6寸/8寸/12寸

c)溫接點可生產1~24點（但硅片越小測溫點盡量減少，因為焊點需要打孔存在應力，另外需要排線，測溫點越多難度越高）

d)使用環(huán)境為普通或者真空環(huán)境

e）晶圓材質：硅片或藍寶石襯底片