SKY® CDG025D 0.1 1000 托 / 毫巴
INFICON SKY CDG025D 電容隔片真空計系列的溫度補償型壓力計可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定性能。 數(shù)字電子元件用于改進(jìn)真空計的性能，具有一鍵調(diào)零功能和設(shè)調(diào)整等易于操作的特性。 防腐蝕超純陶瓷傳感器提供的零點穩(wěn)定性，預(yù)期使用壽命長達(dá)數(shù)百萬次壓力循環(huán)（包括氣壓突變）。 的傳感器屏蔽（正在申請）用于保護(hù)真空計，使其免受加工污染。 堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補償。 CDG025D 電容隔片真空計為開機(jī)后快速穩(wěn)定以及從大氣氣壓中快速恢復(fù)的功能樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)。
益處
- 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
- 電源接通后快速穩(wěn)定
- 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
- 防腐陶瓷傳感器
- 的長期信號穩(wěn)定性
- 溫度補償
- 傳感器防污染保護(hù)
- 一鍵調(diào)零功能
- 電源
典型應(yīng)用
- 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
- 數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設(shè)備
- 工業(yè)真空設(shè)備
- 常規(guī)壓力測量
