博思發(fā)科技公司的 PVC3000 系列 MEMS 熱電堆真空傳感器提供了突破性的真空測(cè)量解決方案。通過這種方案，可以測(cè)量從 1mTorr(0.13Pa)到一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(760Torr，101KPa)的整個(gè)量程。很顯然，皮拉尼真空度傳感器的測(cè)量上限僅達(dá)到 30Torr。一個(gè)壓阻式壓力傳感器無法測(cè)量低于 10Torr 的真空度。一個(gè)昂貴的電容式壓力傳感器的測(cè)量下 限也僅有0.1Torr。PVC3000 系列傳感器可以同時(shí)取代上述幾種傳感器。此外，PVC3000 擁有超快響應(yīng)時(shí)間(不超過 2mSec)和超低功耗(典型值：45mW)的特點(diǎn)。通過休眠的手段，功耗還可以進(jìn)一步減少。比如說，把休眠觸發(fā)設(shè)置為10Hz，那么功耗可以減少到 5mW。PVC3000 可以倍設(shè)計(jì)位差分結(jié)構(gòu)，將一個(gè)傳感器暴露于真空當(dāng)中(作為測(cè)量單元)，同時(shí)把另一個(gè)傳感器放置于大氣環(huán)境中(作為參考單元)。這樣的差分結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)內(nèi)部溫度補(bǔ)償，以及排除其他可能造成傳感器漂移的環(huán)境因素，以此達(dá)到良好的重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。PVC3000 采用了博思發(fā)的第二代熱傳導(dǎo)傳感器芯片(PTCD20)，利用氣體的熱傳導(dǎo)率與該氣體的真空度成正比的原理設(shè)計(jì)而成。PVC3000 系列傳感器，現(xiàn)在向客戶提供兩種封裝形式。PVC3001 封裝在 TO5 的金屬殼體中，PVC3004封裝在 TO46 的金屬殼體中。特點(diǎn) ?•量程：0.001~760 托（0.13~101K 帕）•響應(yīng)時(shí)間：小于 2 毫秒•功耗：小于 5mW（10Hz 喚醒頻率）•利用差分結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)內(nèi)部溫度補(bǔ)償（依賴于實(shí)際應(yīng)用電路）•可以浸泡于溶液中清洗，延長(zhǎng)使用壽命應(yīng)用• 密閉真空系統(tǒng)的泄漏檢驗(yàn)•真空包裝機(jī)•便捷式數(shù)字真空計(jì)條件•工作溫度：-25~85℃ ?•存儲(chǔ)溫度：-40~90℃•機(jī)械沖擊：100g 峰值（5 次跌落，3 軸）
特點(diǎn) ?
•量程：0.001~760 托（0.13~101K 帕）
•響應(yīng)時(shí)間：小于 2 毫秒
•功耗：小于 5mW（10Hz 喚醒頻率）
•利用差分結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)內(nèi)部溫度補(bǔ)償（依賴于
實(shí)際應(yīng)用電路）
•可以浸泡于溶液中清洗，延長(zhǎng)使用壽命
應(yīng)用
• 密閉真空系統(tǒng)的泄漏檢驗(yàn)
•真空包裝機(jī)
•便捷式數(shù)字真空計(jì)
條件
•工作溫度：-25~85℃ ?
•存儲(chǔ)溫度：-40~90℃
•機(jī)械沖擊：100g 峰值（5 次跌落，3 軸）
