特點(diǎn):
◆ 安裝簡(jiǎn)便
◆ 高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性
◆ 測(cè)量范圍達(dá)-120°C露點(diǎn)(<1ppbV)
◆ 100級(jí)潔凈室凈化包裝
典型運(yùn)用:
◆ 在線(xiàn)檢測(cè)半導(dǎo)體工業(yè)高純氣的濕度
測(cè)量范圍: | -120~-40°C露點(diǎn) |
精度: | ±1°C露點(diǎn) |
工作壓力: | 30 MPa |
工作溫度: | -20~+50°C |
氣室材料: | 冷拉不銹鋼, 內(nèi)部0.1~0.2 微米電拋光 |
防護(hù)等級(jí): | IP 65 |
氣路接口: | 1/4’’VCR |
流量等級(jí): | 建議為1~5 NL/Min |
工作電源: | 12~28VDC |
輸出信號(hào): | 4-20mA(RS485 可選) |
溯源性: | NPL(英國(guó))和NIST(美國(guó)) |
質(zhì)量保證期: | 12個(gè)月 |