高頻輸出：600W（YSP600U、YSP63FA）/2,000W（YSP2KU）
反應臺尺寸：300×300mm（YSP600U）/600×600mm（YSP2KU）/385×362mm（YSP63FA）
YSP600U/2KU：樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合。
■ 用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
● 清洗各類基板。
● 電子部品、材料表面改質(zhì)。
● 去除有機物和自然氧化膜。
■ 特征
● 體積小，節(jié)省空間。
● 選用小型腔體，反應效率高。
● 更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
● 可通過操作面板自由切換等離子模式。
● 配備冷卻反應臺。
YSP63FA：可進行樣品傳輸系統(tǒng)定制。
■ 特征
● 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
● 可通過網(wǎng)絡進行遠程操作（選購品）
■ 規(guī)格
型號 | YSP600U | YSP2KU | YSP63FA |
模式 | RIE（DP模式選購） | ||
高頻輸功率 | 600W | 2000W | 600W |
反應臺尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm | W385×D362mm |
內(nèi)腔尺寸 | - | - | W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸） |
反應氣體 | 2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） | ||
反應氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 | ||
真空泵 | - | - | 旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min） |
氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 | ||
