公司介紹：
德國Microworks 公司成立于 2007年, 是卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）微技術(shù)研究所 (IMT) 衍生的子公司。通過使用X 射線和激光LIGA技術(shù)，Microworks為客戶提供高精度微結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。在微納米技術(shù)領(lǐng)域，Microworks代表著高精度。在一個晶片內(nèi)或者從一個晶片到另一個晶片，其高縱橫比和精度可以遠(yuǎn)低于1µm。其產(chǎn)品涵蓋相襯成像光柵、微齒輪、雙曲型電極、精密篩、近紅外濾波器（選頻濾波器）、微彈簧，RF等。
產(chǎn)品介紹：
X射線深度光刻微加工技術(shù)：LIGA
來自Karlsruhe技術(shù)研究所與microworks GmbH的定制化高縱橫比微結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品特點：
高縱橫比（>100）金屬或聚合物
立角約90°的平行側(cè)壁（1mm高的結(jié)構(gòu)偏差~1μm
側(cè)壁光滑（表面粗糙度Ra 在10 nm范圍）
橫向精度在數(shù)微米范圍（數(shù)厘米距離下）
通過雙次曝光可得到多種側(cè)壁角度
主要應(yīng)用：
X射線光柵 (Au ，Ni)
X射線棱鏡(SU-8)
X射線狹縫/針孔(Au)
X射線準(zhǔn)直器 (Au)
高級微結(jié)構(gòu)零部件(Au)
