Agilent BA1500半導體參數(shù)測試儀與MM探針臺
主要技術指標
探針臺：
1.探針臺主機：卡盤XY運動范圍200mm*200mm,Z軸運動范圍25mm
2.絲桿軸承確保高精度移動，分辨率3.5um
3.針座：精度0.7um
4.加熱臺: 溫度范圍室溫-400℃
半導體參數(shù)測試儀
1.直流I-V測試：
具有4路SMU，其中2路中等功率SMU，2路高分辨率SMU, 可同時測量zui小電壓分辨率0.5μV、zui小電流分辨率0.1fA
2.C-V測試：頻率1KHz-5MHz；偏置電壓：±25V；測量精度±0.2 %3.可實現(xiàn)C-V和I-V測量間自動切換，不會影響測量精度
4.脈沖IV：
提供兩路快速IV/脈沖輸出，具有任意波形產生功能
zui小脈沖寬度：50ns；脈沖電平范圍：-5V~+5V，+/-10V~0V (50 Ω負載)；電壓測量精度：±0.1%讀值, ±0.1% 量程；電流測量精度：±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程
主要用途
支持二極管、三極管、MOS管等半導體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量，準靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測量，時域測量等。
