B.主要技術指標:
1、測量原理:觸針法,差動電感傳感器; 2、垂直測量范圍:4/40/400μm; 3、示值誤差:≤±5%; 4、最小分辨力:0.001μm 5、取樣長度:0.08,0.25,0.8,2.5,8mm; 6、評定長度:N倍取樣長度,N=1,2,3,4,5; 7、數(shù)字濾波器:國際、相位校正、不濾波、高斯; 8、粗糙度測量參數(shù):Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq(符合GB/T 3505-2000定義); 9、圖像分析功能:輪廓曲線-NR,輪廓曲線-支承率,支承率-圖表等; 10、直接輪廓測量系統(tǒng)的測量參數(shù):Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq(符合GB/T 3505-2000定義); 11、直線度測量系統(tǒng)的測量參數(shù):Pt,Pp,Pv,|X2--X1|,|Y2-Y1|; 12、輪廓圖形的垂直放大倍率:10,100,200,500,1000,2000,5000,10000,20000,50000,100000,200000; 13、輪廓圖形的水平放大倍率:2,5,10,20,50,100,200,500,1000,2000,5000; 14、驅動箱滑行長度:100mm; 15、驅動箱滑行速度:0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s 16、傳感器返回形式:手動,自動; 17、基準導軌的直線性:1μm/100mm; 18、傳感器測針:金剛石圓錐,錐角90°,針尖半徑2μm; 19、立柱結構:滾動絲杠升降系統(tǒng),快慢速機動升降,自動對準零位; 20、立柱上升高度:480mm; 21、工作底臺:450mm×600mm 大理石平臺。 |