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Hitachi S—3400N型掃描電子顯微鏡，采用TMP分子泵真空系統(tǒng)，節(jié)省占地面積和電源功耗。主要用于對材料的微觀形貌、組織和成分進行有效分析。
掃描電子顯微鏡詳細信息該設(shè)備具有新研制的電子光學(xué)系統(tǒng)和自動化功能顯示系統(tǒng)有全屏顯示，無閃爍，高像素和實時圖像顯示等優(yōu)異的性能，它還可以實時信號混合并同時顯示兩個不同的檢測器觀測到的互不相同的樣品信息。
通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性，高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器可以在快速掃描模式下運行，這使得尋找大尺寸樣品中感興趣的區(qū)域更為簡單和便利。 |
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| 日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的特點 |
| 1. S-3400N具有強大的自動功能，包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。 |
| 2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。 |
| 3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。 |
| 4. S-3400N II型具有五軸馬達臺，傾斜角度可達-20度~+90度，樣品zui高可達80mm。 |
| 5. 分析樣品倉可以同時安裝EDX ， WDX 及EBSD。 |
| 6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。 |
日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的技術(shù)指標(biāo)：
| 項目 | 描述 |
| SE分辨率 | 3.0nm (30kV)，高真空模式 / 10nm (3kV), 高真空模式 |
| BSE分辨率 | 4.0nm (30kV)，低真空模式 |
| 加速電壓 | 0.3 ~ 30 kV |
| 低真空范圍 | 6 ~ 270 Pa |
| 樣品尺寸 | 直徑200mm |
| 樣品臺 | I型 II型 |
| X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
| Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
| Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
| R | 360o 360o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| 樣品高度 | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
| 驅(qū)動類型 | 手動 五軸馬達驅(qū)動 |
| 燈絲 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
| 物鏡光欄 | 可移動式4孔物鏡光欄 |
| 槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏 |
| 檢測器 | 二次電子檢測器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
| 分析位置 | WD=10mm, TOA=35o |
| 控制 | 鼠標(biāo)、鍵盤，手動旋鈕 |
| 自動調(diào)校 | 自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸、自動聚焦 消像散、自動亮度對比度 |
日立掃描電子顯微鏡S-3400N掃描圖像：
| 項目 | 描述 |
| SE分辨率 | 3.0nm (30kV)，高真空模式 / 10nm (3kV), 高真空模式 |
| BSE分辨率 | 4.0nm (30kV)，低真空模式 |
| 加速電壓 | 0.3 ~ 30 kV |
| 低真空范圍 | 6 ~ 270 Pa |
| 樣品尺寸 | 直徑200mm |
| 樣品臺 | I型 II型 |
| X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
| Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
| Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
| R | 360o 360o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| 樣品高度 | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
| 驅(qū)動類型 | 手動 五軸馬達驅(qū)動 |
| 燈絲 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
| 物鏡光欄 | 可移動式4孔物鏡光欄 |
| 槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏 |
| 檢測器 | 二次電子檢測器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
| 分析位置 | WD=10mm, TOA=35o |
| 控制 | 鼠標(biāo)、鍵盤，手動旋鈕 |
| 自動調(diào)校 | 自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸、自動聚焦 消像散、自動亮度對比度 |
