白光光譜干涉測量原理
STIL干涉位移傳感器計算基于白光干涉光譜分析（SAWLI）原理，它通過分析由分光儀獲得的干涉波形來測量參照板與標(biāo)的物之間的空氣層間隙。其*性在于將參照版與標(biāo)的物固定為一個整體，因為參照板和標(biāo)的物是一個整體，當(dāng)測量設(shè)備有震動的時候，這個整體的兩個部分的距離不會發(fā)生任何變化，從而達到有效防止機構(gòu)震動對測量結(jié)果的影像。
此干涉信號是一個通道截止光譜，通過采用七步相移算法對干涉光譜進行計算，使傳感器獲得亞納米的測量分辨率。
控制器技術(shù)規(guī)格
| 測量頻率 | 2000HZ |
| 波長范圍 | 400-900nm |
| 光譜分辨率 | 0.63nm/pixel |
| 光源 | 鹵素?zé)?/td> |
| 信號輸出 | 網(wǎng)口/RS232 |
| 外部觸發(fā)I/O | 1input(TTL)/1 output(TTL) |
| 光纖線 | E2000(標(biāo)準(zhǔn)或鎧甲） |
| 相對濕度 | 5%-80% HR無冷凝 |
| 工作溫度 | 5-50℃ |
| 外觀尺寸 | 376mm*363mm*114mm |
| 重量 | 6KG |
| 測量模式： 距離/厚度 | 1、光譜共焦測量 2、光譜干涉測量 |
測量頭技術(shù)參數(shù)
| OPILB Line | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型號 | OPILB-RP | OPILB-LWD-D | OPILB-LWD-T | OPILB | ||||
| 測量模式 | 位移 | 位移 | 厚度 | 厚度 | ||||
| 量程（μm） | 135 | 135 | - | - | ||||
| 工作距離（mm） | 9.7 | 4.6 | 9.2 | 42 | ||||
| 可測傾角（°） | ±17 | ±17 | ±17 | ±5.4 | ||||
| 參考板(1) | Yes | No | No | No | ||||
| 放大器型號 | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG70 | MG35 | MG20 | - |
| 光斑尺寸（μm）(3) | 3.8 | 5.7 | 3.8 | 5.7 | 11.4 | 22.9 | 40.2 | 32 |
| 橫向分辨率（μm）(2) | 1.9 | 2.8 | 1.9 | 2.8 | 5.7 | 11.4 | 20 | 20 |
| 外形尺寸 | ||||||||
| 長(mm)(4) | 200 | 164 | 200 | 164 | 131 | 100 | 84 | 145.5 |
| 直徑(mm)(4) | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 |
| 重量(g) | 200 | 127 | 200 | 127 | 126 | 67 | 52 | 155 |
| 性能參數(shù) | ||||||||
| 位移模式 | ||||||||
| 靜態(tài)噪音(nm)(5) | 0.5 | 2 | - | - | ||||
| 精度（nm）（6） | 10 | 10 | ||||||
| 粗糙度測量(7) | NR | NR | ||||||
| 厚度模式 | ||||||||
| 最小可測厚度（μm）(8) | - | - | - | - | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
| 可測厚度（μm(8)） | - | - | - | - | 90 | 90 | 90 | 90 |
| 靜態(tài)噪音(nm)(5) | - | - | - | - | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 |
| 精度（nm）（6 | - | - | - | - | 10 | 10 | 10 | 10 |
(1)參考板直接放在樣品上。OPILB-RP的參考板作為參考。它彌補了掃描系統(tǒng)的機械缺陷
(2)橫向分辨率定義為光斑直徑的一半
(3)在量程中心位置測量的光斑尺寸，無衍射(參考值)
(4)長度和重量不包含光纖線
(5)在靜態(tài)樣本上測量的RMS噪聲水平。在位置的樣品上，以速采樣頻率進行測定
(6)精度是在整個測量范圍內(nèi)觀察到的誤差，是通過和1nm精度的編碼器比較校準(zhǔn)
(7)R=推薦用于測量金屬樣品(這些樣品可以用完整的性能進行測量);NR=不建議測量金屬樣品(這些樣品可以測量，但性能降低)
(8)在的速度下，測量范圍的中心，測量的典型值，不加平均。折射率=1.5個樣本（測量空氣間隙應(yīng)除以1 5的厚度時）；
注：以上參數(shù)如有變化，恕不另行通知。
測量應(yīng)用案例
采用光譜干涉?zhèn)鞲衅魑灰颇Ｊ綔y量
采用光譜干涉?zhèn)鞲衅骱穸饶Ｊ綔y量
