ESNANO-系列技術(shù)參數(shù)如下
機(jī)臺(tái)行程(X,Y) ：
300mm×200mm×200mm
400 mm×300 mm×250mm
分辨率：0.0001mm
測(cè)量行程：400mm×300mm (X×Y)
工件限高：250mm (Z)
載物臺(tái)尺寸：600 mm×450 mm
示值系統(tǒng)：封閉式光柵尺
分辨率：0.1μm
示值精度：E = (2.0 + L/100) μm (L單位:mm)
重復(fù)精度：0.002 mm
載物臺(tái)尺寸：500 mm×400 mm
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：高穩(wěn)定性 ,交流伺服馬達(dá)及驅(qū)動(dòng)器
傳動(dòng)方式：研磨級(jí)絲桿
導(dǎo)軌型式：高精度雙滾動(dòng)直線導(dǎo)軌(XY軸)、高精度雙滑塊導(dǎo)軌(Z軸)
操作方式：搖控手柄(可選)、鼠標(biāo)拖運(yùn)、程序檢測(cè)
影像系統(tǒng)：高解析彩色攝影機(jī)
影像擷取卡：影像測(cè)量?jī)x專(zhuān)用卡
物鏡：全自動(dòng)變倍遠(yuǎn)心鏡頭，光學(xué)放大倍率0.75×-4.5×,標(biāo)配0.5×、1.5×、2.0×附鏡各1件影像放大倍率：25-155×，加附鏡可擴(kuò)展到12-300×（實(shí)物到17'螢?zāi)?024×768像素）
照明系統(tǒng)： 表面 程式控制四相LED環(huán)形光 輪廓 程式控制單相LED底部透射光
量測(cè)軟件：自動(dòng)版光學(xué)視覺(jué)量測(cè)軟件
工作機(jī)臺(tái)：高精度花崗巖平臺(tái)
機(jī)臺(tái)承重：50kg
整機(jī)重量：410 kg
整機(jī)尺寸：1500 mm×900 mm×1650 mm
電源：AC 220±5V、50Hz
使用環(huán)境：溫度 20±3 ℃、濕度35%-65%
測(cè)量軟件功能：
一、基本功能：
●笛卡爾坐標(biāo)/極坐標(biāo)轉(zhuǎn)換 ●/相對(duì)/工作坐標(biāo)轉(zhuǎn)換
●公/英制轉(zhuǎn)換 ●度/度分秒轉(zhuǎn)換
●點(diǎn)/點(diǎn)群 ●兩點(diǎn)/多點(diǎn)求線
●三點(diǎn)/多點(diǎn)求圓及弧 ●B-spline線
●兩點(diǎn)間的距離 ●兩線間的平均距離
●點(diǎn)線間的距離 ●兩圓心距離
●圓線距離 ●兩線間的夾角及交點(diǎn)
二、特殊功能
1.軟件控制光源。上光源為四相燈，下光源為直光源，增加機(jī)器適應(yīng)性能。
2.量測(cè)工件無(wú)需調(diào)節(jié)擺正，軟件提供坐標(biāo)平移、旋轉(zhuǎn)、擺正。
3.直接在影像及幾何區(qū)標(biāo)注/移動(dòng)尺寸。直線修剪、延伸、倒角功能。
4.自主研發(fā)的全自動(dòng)變倍遠(yuǎn)心鏡頭，高精度伺服變倍系統(tǒng)令測(cè)量真正全自動(dòng)化，不需要在每次變倍后重新校正放大倍率，大大提高測(cè)量效率。
5.幾何區(qū)點(diǎn)、線、圓/圓弧及直線端點(diǎn)、中點(diǎn)，圓心、象限點(diǎn)自動(dòng)捕捉。
6.調(diào)節(jié)CCD參數(shù)設(shè)定，提高自適應(yīng)力；去除毛邊功能，以正確取得量測(cè)數(shù)據(jù)。
7.利用影像工具快速自動(dòng)抓取基本幾何輪廓邊界點(diǎn)，直接擬合成線、圓、弧。
8.量測(cè)區(qū)工件放大攝像圖形化輸出，轉(zhuǎn)成(.bmp、.jpg)。
9.測(cè)量數(shù)據(jù)化輸出，轉(zhuǎn)成WORD (.doc) 、EXCEL (.xls)。
10.SPC功能，直接輸出管制圖、制程能力指數(shù)，轉(zhuǎn)成WORD、EXCEL
11.機(jī)械圖形直接輸出.dxf格式，實(shí)現(xiàn)2D抄數(shù)功能 ，與AutoCAD、Pro/e等其它軟件無(wú)縫聯(lián)接。
12.可轉(zhuǎn)入.DXF格式文件，與工件實(shí)物或測(cè)量圖形進(jìn)行比對(duì)。并可直接在影像區(qū)任取兩點(diǎn)得到誤差測(cè)量值。
13.提供平面內(nèi)直線度、圓度、角度分析，進(jìn)行有效之品質(zhì)檢驗(yàn)
14.機(jī)臺(tái)精度補(bǔ)償，提高量測(cè)精度。
三、特點(diǎn)：
機(jī)身主體采用高精密天然花崗巖，具有穩(wěn)定的溫度特性和抗時(shí)效變形能力，保證測(cè)量的穩(wěn)定性及長(zhǎng)期使用的剛性。
標(biāo)配由本公司自行開(kāi)發(fā)的TC系列遠(yuǎn)心光學(xué)設(shè)計(jì)鏡頭，高性能，超低畸變，保證測(cè)量的精確度；精密多段定倍變焦，可先期儲(chǔ)存入各段倍率的放大系數(shù)，使用時(shí)隨時(shí)調(diào)出，不需再次校正，節(jié)約輔助時(shí)間，提高測(cè)量效率。
三軸均采用業(yè)界*可靠性的松下Panasonic AC伺服馬達(dá)系統(tǒng)，所有運(yùn)動(dòng)控制均由專(zhuān)用的高速32bitDSP運(yùn)動(dòng)控制器進(jìn)行，確?？煽啃缘母咚贉y(cè)量。
三軸均采用研磨級(jí)絲桿，使機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)更精確、快速、順暢，噪音大幅度降低。
三軸均采用感應(yīng)式限位開(kāi)關(guān)，提高使用壽命及限位準(zhǔn)確度與靈敏度。
機(jī)器預(yù)留有供以后升級(jí)的探針準(zhǔn)備系統(tǒng)：光柵數(shù)顯，數(shù)據(jù)接口，支架附件等。 方便用戶隨時(shí)升級(jí)，不需改裝，簡(jiǎn)單快捷。
Z軸可選配探針，具有強(qiáng)大的三維測(cè)量功能（英國(guó)雷尼紹Renishaw系統(tǒng)）
