美國 KRI 射頻離子源 RFICP 100 技術(shù)參數(shù):
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 100 技術(shù)參數(shù):
型號 | RFICP 100 |
Discharge | RFICP 射頻 |
離子束流 | >350 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 10 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 5-30 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 23.5 cm |
直徑 | 19.1 cm |
中和器 | LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量