質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）,用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。
S49 31 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計特點：
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
S49 31 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計主要應用領域：
半導體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設備的氣體計量與控制；
各種形式的真空鍍膜設備；
環(huán)境檢測與分析設備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。
2、S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計型號
S49 31 系列質(zhì)量流量控制器，S49為質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計產(chǎn)品，31/MT為本公司此產(chǎn)品設計序列號。
其中：S49 31/MT 系列為質(zhì)量流量控制器。
S49 31A/MT 系列為質(zhì)量流量計。
質(zhì)量流量計用于氣體質(zhì)量流量精確測量計量；質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體流量的功能。
執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標準
3、 主要技術(shù)指標
質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定。
質(zhì)量流量單位為：標準狀態(tài)mL/min （毫升/分鐘） （SCCM行業(yè)標準）；
標準狀態(tài)L/min （升/分鐘）（SLM行業(yè)標準）。
標準狀態(tài)為：溫度----0℃；
氣壓----101325Pa
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術(shù)指標
編號 | 項目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
1 | 流量規(guī)格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min | |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
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3 | 調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài) | 常閉 |
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4 | 準確度 | ±1%F.S(10mL/min～5L/min規(guī)格，其余規(guī)格≤±2% F.S) | |
5 | 線性 | ±1.0%F.S，±1.5%F.S | |
6 | 重復精度 | ±0.2%F.S | |
7 | 響應時間 | (3～4)s | |
8 | 工作壓差范圍 | (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min | |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa | |
10 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃～45℃ | |
11 | 材料 | 不銹鋼316L | |
12 | 標準密封材料 | Viton?， EPDM， 或其他由用戶 | |
13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) | |
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其他 | |
15 | 輸入輸出信號 | 0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA) | |
16 | 供電電源 | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
17 | 外形尺寸mm | 134×134×38 | |
18 | 重量kg | 1.0 | |
