美國(guó)艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器型號(hào)變體

• 低壓損型號(hào)，最多60 psia（MCW系列）

• 高壓型號(hào)，160-320 psia（MCQ系列）

• 閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長(zhǎng)度一致）型號(hào)（MCE系列）

• 配備氣動(dòng)截止閥的型號(hào)，適合真空應(yīng)用（MCV系列）

• 腐蝕性氣體型號(hào)（MCS系列，見下文）

閥門選項(xiàng)

您可以為您的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過(guò)程條件下保持性能。

• MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程

• 具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應(yīng)用

• MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對(duì)耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）

• MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個(gè)小型閥門并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門。

• MCR系列—選配幾乎無(wú)摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量

腐蝕性氣體（MCS系列）

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級(jí)為303不銹鋼閥門，傳感器升級(jí)為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級(jí)為FFKM。對(duì)于某些腐蝕性氣體的整個(gè)流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時(shí)將滿量程為20slpm或更小流量計(jì)的閥門（PCA型）和流量?jī)x表主體部分升級(jí)為316L材質(zhì)。

結(jié)構(gòu)選項(xiàng)

• 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）

• 顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）

• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）

• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項(xiàng)

• 流量累加器

• 集成式電位計(jì)控制

• 高精度或自定義校準(zhǔn)