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MC-LMBE / PAC-LMBE 激光分子束外延系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
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  • 廠(chǎng)商性質(zhì)其他
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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司創(chuàng)建于2011年,經(jīng)過(guò)十年的發(fā)展,已經(jīng)成長(zhǎng)為一家專(zhuān)注于電子材料、半導(dǎo)體儀器設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷(xiāo)售為一體的企業(yè)。我們的主營(yíng)業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷(xiāo)售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷(xiāo)售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷(xiāo)售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷(xiāo)售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷(xiāo)售等??萍紕?chuàng)新是科時(shí)達(dá)公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。我們擁有一支高度專(zhuān)業(yè)化的技術(shù)研發(fā)和管理團(tuán)隊(duì),建立了國(guó)內(nèi)的實(shí)驗(yàn)室和光電研究中心,與多家科研機(jī)構(gòu)與大專(zhuān)院校開(kāi)展“產(chǎn)、學(xué)、研”合作,成功開(kāi)發(fā)出一系列具有高科技含量的市場(chǎng)產(chǎn)品,公司產(chǎn)品通國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)的產(chǎn)品認(rèn)證。同時(shí),公司擁有電子信息領(lǐng)域相對(duì)完備的科技創(chuàng)新體系,在電子裝備、醫(yī)療設(shè)備、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、網(wǎng)絡(luò)安全等領(lǐng)域占據(jù)技術(shù)主導(dǎo)地位,肩負(fù)著支撐科技自立自強(qiáng)、推進(jìn)國(guó)內(nèi)科技現(xiàn)代化、加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展、服務(wù)社會(huì)民生的重要職責(zé)。聚焦“三大定位”主責(zé),科時(shí)達(dá)公司按照“做優(yōu)電子裝備、做大儀器設(shè)備、做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、做強(qiáng)研發(fā)銷(xiāo)售”的總體布局,持續(xù)優(yōu)化核心業(yè)務(wù)體系,推動(dòng)企業(yè)在科技現(xiàn)代化建設(shè)、現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)的核心關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn)上“布點(diǎn)”,在產(chǎn)業(yè)鏈價(jià)值鏈創(chuàng)新鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)上“成線(xiàn)”,在關(guān)系國(guó)家、國(guó)民經(jīng)濟(jì)命脈和國(guó)計(jì)民生關(guān)鍵領(lǐng)域上“控面”。做強(qiáng)電子裝備,重點(diǎn)發(fā)展利用聲、光、電磁信號(hào)進(jìn)行信息感知、傳輸、運(yùn)用等的系統(tǒng)級(jí)裝備和產(chǎn)品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實(shí)在高??蒲蓄I(lǐng)域和高科枝企業(yè)的提供地位。做大儀器設(shè)備,重點(diǎn)發(fā)展半導(dǎo)體儀器基礎(chǔ)設(shè)施和醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用與整體解決方案,全面支撐基于網(wǎng)絡(luò)信息體系的聯(lián)合和全域能力提升、國(guó)家治理能力提升和數(shù)字化發(fā)展。做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),重點(diǎn)打造形成電子基礎(chǔ)產(chǎn)品科研和生產(chǎn)的基礎(chǔ)支撐能力,以夯實(shí)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控能力為根本目標(biāo),推動(dòng)以“科時(shí)達(dá)基因”為核心的銷(xiāo)售集群式發(fā)展。做強(qiáng)研發(fā)銷(xiāo)售,致力于電子產(chǎn)品的研發(fā)。科時(shí)達(dá)公司是一家,多年來(lái)公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)致力于電子材料、半導(dǎo)體儀器和醫(yī)療設(shè)備的研發(fā)。同時(shí)企業(yè)還致力于將產(chǎn)品做好國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)銷(xiāo)售,在整體銷(xiāo)售模式中具備一套完整的銷(xiāo)售體系。以客戶(hù)需求為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生存,科時(shí)達(dá)公司以超凡的品質(zhì)和優(yōu)良的服務(wù),獲得國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的一致認(rèn)可;公司營(yíng)銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò)覆蓋,產(chǎn)品世界各地,目前已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)電子科技行業(yè)中重要的生產(chǎn)制造基地。
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激光分子束外延(Laser MBE)是上個(gè)世紀(jì)90年代發(fā)展起來(lái)的一種新型高精密制膜技術(shù),它集PLD的制膜特點(diǎn)和傳統(tǒng)MBE的超高真空精確控制原子尺度外延生長(zhǎng)的原位實(shí)時(shí)監(jiān)控為一體,除保持了PLD方法制備的膜系寬,還可以生長(zhǎng)通常的半導(dǎo)體超晶格材料,特別適合生長(zhǎng)多元素、高熔點(diǎn)、復(fù)雜層狀結(jié)構(gòu)的薄膜,如超導(dǎo)體、光學(xué)晶體、鐵電體、壓電體、鐵磁體以及有機(jī)高分子等。
MC-LMBE / PAC-LMBE 激光分子束外延系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

激光分子束外延(Laser MBE)是上個(gè)世紀(jì)90年代發(fā)展起來(lái)的一種新型高精密制膜技術(shù),它集PLD的制膜特點(diǎn)和傳統(tǒng)MBE的超高真空精確控制原子尺度外延生長(zhǎng)的原位實(shí)時(shí)監(jiān)控為一體,除保持了PLD方法制備的膜系寬,還可以生長(zhǎng)通常的半導(dǎo)體超晶格材料,特別適合生長(zhǎng)多元素、高熔點(diǎn)、復(fù)雜層狀結(jié)構(gòu)的薄膜,如超導(dǎo)體、光學(xué)晶體、鐵電體、壓電體、鐵磁體以及有機(jī)高分子等,同時(shí)還能進(jìn)行其相應(yīng)的激光與物質(zhì)相互作用和成膜過(guò)程的物理、化學(xué)等方面的基礎(chǔ)研究。

日本Pascal公司一直致力于PLDLaser MBE系統(tǒng)的研發(fā)工作,已經(jīng)向世界上的高校或研究所提供了高性能、高穩(wěn)定的設(shè)備。在Laser MBE中,使用脈沖激光源,而且與通過(guò)石英窗口和超高真空系統(tǒng)隔離。高能量密度的脈沖激光將靶材局部氣化而產(chǎn)生激光焰,被剝蝕的粒子獲得很高的動(dòng)能,達(dá)到可以加熱的襯底表面形成薄膜。薄膜的生長(zhǎng)過(guò)程可由反射式高能電子衍射(RHEED)系統(tǒng)監(jiān)控。RHEED的衍射條紋提供薄膜生長(zhǎng)的晶體結(jié)構(gòu)和表面形貌,強(qiáng)度振蕩判斷薄膜生長(zhǎng)的機(jī)理。其強(qiáng)度振蕩可由彈性散射模型進(jìn)行解釋。

Pascal生產(chǎn)的Laser MBE系統(tǒng)具有如下的優(yōu)勢(shì)
1. 靶源易蒸發(fā)。即使是高熔點(diǎn)的材料,如氧化物,也很容易蒸發(fā)。
2. 化學(xué)計(jì)量比準(zhǔn)確。沉積的薄膜和靶材的化學(xué)組分幾乎*一樣。
3. 污染少。
4. 激光脈沖的重復(fù)頻率可進(jìn)行薄膜厚度/生長(zhǎng)速率的數(shù)字式或非連續(xù)性控制。
5. 差分抽氣結(jié)構(gòu),可在非常寬的氣壓范圍內(nèi)工作。
6. 靶材的交換簡(jiǎn)單快捷,有利于實(shí)現(xiàn)異質(zhì)外延和多層結(jié)構(gòu)的生長(zhǎng)。
7. 結(jié)構(gòu)緊湊,含有許多的技術(shù),如襯底加熱和樣品或靶材的進(jìn)樣-自鎖交換裝置等。

用于材料科學(xué)的組合(Combinatorial)技術(shù)
一次合成一個(gè)樣品,該樣品描寫(xiě)了不同合成條件的組合結(jié)果,然后進(jìn)行篩選產(chǎn)品,這整個(gè)過(guò)程是一種組合化學(xué)”(Combinatorial Chemistry)。目前,這種技術(shù)在醫(yī)學(xué)或藥學(xué)的發(fā)展將顯得非常必要。而且,由此產(chǎn)生的研究結(jié)果正在呈指數(shù)上升。
為什么不在薄膜研究中引進(jìn)該方案呢?從方案的初始階段,我們就一直與學(xué)術(shù)界共同研發(fā)組合式PLD統(tǒng)。我們豐富的經(jīng)驗(yàn)將有助于薄膜的研究和開(kāi)發(fā)。

應(yīng)用

1.藍(lán)光ZnO GaN 新材料研發(fā)
2.氧化物微奈米薄膜、STO 壓電薄膜
3.奈米磁性薄膜
4.超導(dǎo)體材料
5.高能材料
6.新組合材料 (Combinatorial Materials)

新型薄膜和器件方面的應(yīng)用

我們?cè)O(shè)計(jì)的生長(zhǎng)系統(tǒng)可用于多種薄膜的生長(zhǎng),包括GaN、有機(jī)薄膜以及結(jié)型器件的制備,如金剛石、富勒烯球碳和含有氧化物的Si結(jié)型器件等。


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