半導(dǎo)體ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結(jié)晶を引き上げるためのロードセルです。
- 特長(zhǎng)
- 従來(lái)以上のオーバーロード保護(hù)
- 大口徑インゴット引き上げ時(shí)のシードタッチの微小荷重の計(jì)測(cè)が可能な二段式(二出力)タイプ
- 差動(dòng)出力によりノイズに強(qiáng)い
- 荷重感度部に非直線、ヒステリシス、繰り返し性が0.02% R.O. と高性能、高分解能のロードセルを使用
- 溫度特性は、0.03% R.O./10℃(ゼロ點(diǎn)変化+感度変化)と非常に安定している