第 3 代通用規(guī)格
緊湊型光學(xué)元件:光源 142 x 80 x 60 毫米,探測(cè)器 110 x 80 x 60 毫米
簡(jiǎn)單連接:+5V 墻上插頭電源、以太網(wǎng)和源檢測(cè)器鏈接電纜電動(dòng)源偏振器:
– 提供自動(dòng)儀器校準(zhǔn)
– 實(shí)現(xiàn)區(qū)域平均測(cè)量,以提高測(cè)量精度
強(qiáng)度提高 4 倍(與原始 FS-1 相比)和更新的檢測(cè)器電子設(shè)備提供更高的測(cè)量精度:非原位 2 倍,原位 4 倍
FS-1 波長(zhǎng)
FS-1™(第 3 代)橢偏儀
4 個(gè)波長(zhǎng),450 – 660 nm 光譜范圍(替代原來的 FS-1)
測(cè)量 0 – 2 μm 厚度范圍內(nèi)的單層透明薄膜的選擇,精度低至 0.0004 nm
*美國zhuan利#9,354,118
FS-1EX™(第 3 代)橢偏儀
6 個(gè)波長(zhǎng),405 – 950 nm 光譜范圍
2 個(gè)較長(zhǎng)的波長(zhǎng)(850 和 950 nm)能夠測(cè)量較厚的透明薄膜(高達(dá) 5 μm)和吸收半導(dǎo)體薄膜(如多晶硅、SiGe、非晶硅等)
薄膜電阻率測(cè)量(使用 Drude 模型)也通過 2 個(gè)更長(zhǎng)的波長(zhǎng)得到改進(jìn)。
6 個(gè)波長(zhǎng)和更寬的光譜范圍為多層薄膜堆疊提供增強(qiáng)的測(cè)量能力
標(biāo)準(zhǔn)異地配置
65° 入射角。手動(dòng)樣品加載和高度調(diào)整。
樣品尺寸可達(dá) 200 毫米直徑。和 20 毫米的厚度。
+/-2° 范圍內(nèi)的樣品傾斜。
樣品上的光束尺寸:4 x 9 mm。
占地面積小 (180 x 400 mm),重量輕 (5 kg)。