SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過(guò)程中測(cè)量沉積速率和膜厚的精密儀器，標(biāo)準(zhǔn)型有兩路傳感器輸入，同時(shí)，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實(shí)際應(yīng)用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號(hào)。在大型系統(tǒng)中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數(shù)據(jù)通過(guò)平均值，以達(dá)到更**的沉積控制；也可以設(shè)定為雙探頭模式。在高沉積速率過(guò)程中，為了延長(zhǎng)傳感器的使用壽命，速率采集模式允許探頭帶一個(gè)檔板。用戶可以自己選擇0.1?/s 還是0.01?/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來(lái)控制沉積源、探頭檔板、信號(hào)時(shí)間、膜厚設(shè)定值以及晶片失效信號(hào)等。 開(kāi)啟速率和膜厚測(cè)量，只需先按住Zero鍵以**上次讀數(shù)，然后關(guān)閉，打開(kāi)源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時(shí)顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監(jiān)測(cè)儀一定距離也仍然清晰可見(jiàn)。當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚或者鍍膜時(shí)間到了，檔板就會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，同時(shí)前面板報(bào)警器開(kāi)始亮燈。在鍍膜過(guò)程中，操作員可以在任意時(shí)間通過(guò)Xtal Life鍵來(lái)查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對(duì)監(jiān)測(cè)儀的99個(gè)存儲(chǔ)膜系進(jìn)行設(shè)置。首先，選“program”鍵，進(jìn)入菜單，然后，旋轉(zhuǎn)撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數(shù)了。主顯示界面顯示菜單提示，而設(shè)定的數(shù)據(jù)可以在輔助界面中找到。 標(biāo)準(zhǔn)型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個(gè)讀數(shù)/秒,如果用戶有更嚴(yán)格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個(gè)讀數(shù)/秒的高精型。SQM160另一大優(yōu)點(diǎn)是在整個(gè)工作范圍內(nèi)，溫度穩(wěn)定性可以達(dá)到2ppm。高精度和高穩(wěn)定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了**的性價(jià)比。 ■ 雙通道（標(biāo)準(zhǔn)型），四通道可選 QCM傳感器輸入 標(biāo)準(zhǔn)型: 2;路 可選: 4路 |
