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FSM413 紅外干涉厚度測(cè)量設(shè)備

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2022-08-17
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值966
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??岱美有限公司成立于1989年,是數(shù)據(jù)存儲(chǔ),半導(dǎo)體,光學(xué),光伏和航空航天行業(yè)制造商和創(chuàng)新研發(fā)機(jī)構(gòu)的*設(shè)備分銷商。??在21世紀(jì)初期,岱美已從我們?cè)谥袊?guó)香港的總部擴(kuò)展到亞洲,以滿足客戶的多樣化需求。在當(dāng)今化的市場(chǎng)中,我們的客戶包括連接?xùn)|南亞各國(guó)的綜合供應(yīng)鏈,我們的專業(yè)人員隨時(shí)準(zhǔn)備與他們會(huì)面。??我們的總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)大陸地區(qū)(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強(qiáng)大的業(yè)務(wù)。我們還在馬來(lái)西亞,新加坡,中國(guó)臺(tái)灣地區(qū),菲律賓和泰國(guó)等東南亞國(guó) 家和地區(qū)設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。岱美擁有訓(xùn)練有素的工程師,能夠?yàn)楦鞯貐^(qū)用戶提供快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務(wù);為確保他們的專業(yè)知識(shí)得以更新及并適應(yīng)新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項(xiàng)技術(shù)訓(xùn)練,務(wù)求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務(wù)及技術(shù)支持。我們的分支機(jī)構(gòu)都已建立數(shù)十年,我們的許多客戶對(duì)我們與他們建立的長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的合作關(guān)系感到滿意。??我們的目標(biāo)是建立持久的關(guān)系,滿足東南亞企業(yè)快速增長(zhǎng)的需求。對(duì)于我們的客戶,我們不僅提供設(shè)備,還提供建議和技術(shù)指導(dǎo),以及時(shí)了解我們不斷發(fā)展的行業(yè)的發(fā)展。對(duì)于我們的供應(yīng)商,我們提供了深入的銷售網(wǎng)絡(luò)和數(shù)十年的東南亞復(fù)雜商業(yè)環(huán)境導(dǎo)航經(jīng)驗(yàn)。我們將本地客戶與來(lái)自歐洲,美國(guó),日本和韓國(guó)的*設(shè)備與技術(shù)連接起來(lái)。岱美合作客戶??岱美在中國(guó)大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:??晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測(cè)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測(cè)儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_(kāi)始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。注:在大陸地區(qū)注冊(cè)的公司名稱為:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
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產(chǎn)品名稱:FSM413紅外干涉測(cè)量設(shè)備產(chǎn)品型號(hào):FSM413EC,FSM413MOT
FSM413 紅外干涉厚度測(cè)量設(shè)備 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品名稱:FSM 413 紅外干涉測(cè)量設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào):FSM 413EC, FSM 413MOT,F(xiàn)SM 413SA DP FSM 413C2C, FSM 8108 VITEC2C

1. 簡(jiǎn)單介紹

FSM 128 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備:美國(guó)Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來(lái)為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測(cè)量設(shè)備,客戶遍布,主要產(chǎn)品包括:光學(xué)測(cè)量設(shè)備:三維輪廓儀、拉曼光譜、薄膜應(yīng)力測(cè)量設(shè)備、 紅外干涉厚度測(cè)量設(shè)備、電學(xué)測(cè)量設(shè)備:高溫四探針測(cè)量設(shè)備、非接觸式片電阻及 漏電流測(cè)量設(shè)備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析(EOT)

2. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FSM 413 紅外干涉測(cè)量設(shè)備

1) 紅外干涉測(cè)量技術(shù),非接觸式測(cè)量

2) 適用于所有可讓紅外線通過(guò)的材料

硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…

image011.png

3. 應(yīng)用

襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

平整度

厚度變化(TTV)

溝槽深度

過(guò)孔尺寸、深度、側(cè)壁角度

粗糙度

薄膜厚度

環(huán)氧樹(shù)脂厚度

襯底翹曲度

晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測(cè)量

TSV 深度、側(cè)壁角度…

image015.jpg

TSV測(cè)試


image016.jpg

TTV應(yīng)用

4. 規(guī)格

1) 測(cè)量方式:紅外干涉(非接觸式)

2) 樣本尺寸: 50、75、100、200、300 mm, 也可以訂做客戶需要的產(chǎn)品尺寸

3) 測(cè)量厚度:15—780μm (單探頭)

3 mm (雙探頭總厚度測(cè)量)

4) 掃瞄方式:半自動(dòng)及全自動(dòng)型號(hào),

另2D/3D掃瞄(Mapping)可選

5) 襯底厚度測(cè)量: TTV、平均值、*小值、*大值、公差。。。

6) 粗糙度:20—1000? (RMS)

7) 重復(fù)性:0.1μm (1 sigma)單探頭*

0.8 μm(1 sigma)雙探頭*

8) 分辨率:10 nm

9) 設(shè)備尺寸:

413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)

413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H)

10) 重量: 500 lbs

11) 電源:110V/220VAC

12) 真空: 100 mm Hg

13) 樣本表面光滑(一般粗糙度小于0.1μm RMS)

150μm厚硅片(沒(méi)圖案、雙面拋光并沒(méi)有摻雜)



關(guān)鍵詞:輪廓儀
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