GFS™ 提供了一種真正的主質(zhì)量流量標準，并使得低氣體質(zhì)量流速的基本測量真正可行。
- 覆蓋從 0.2 到 200 mg/s 的多種氣體量程（10 sccm 到 10 slm N2）
- 支持的氣體：無毒性的非腐蝕氣體
- 流量測量不確定度低至 ±0.013% 讀數(shù)
- 出口壓力：650 kPa 絕壓
- 使用質(zhì)量和時間測量的主要重量原則
- 可以實現(xiàn)自動化的無人管理操作
GFS 動態(tài)重力質(zhì)量流量校準系統(tǒng)包括所需的電子質(zhì)量天平、封殼和電子儀器，以準確實時測量損耗的
氣體質(zhì)量和整個過程的持續(xù)時間。為了提高熱穩(wěn)定性并抑制振動，請將天平放在一個大的花崗巖表面并使用通風的封殼將其包圍。在該系統(tǒng)中，通過增壓套筒提供測試氣體，增壓套筒置于天平上，系統(tǒng)會不斷地測量其質(zhì)量，以確定測試過程中損耗氣體的質(zhì)量和速度。通過連接到系統(tǒng)控制器的高速 USB 計數(shù)器/定時器來測量執(zhí)行此測試所用的時間。該系統(tǒng)可以使用各種非腐蝕性氣體種類，只需抽離參考套筒中的氣體并對所選介質(zhì)進行加壓。
已經(jīng)開發(fā)了專用的基于 PC 的軟件程序 (GFSTools™)，用作儀器的控制以及用戶界面。系統(tǒng)會記錄測試輸出下天平和設備的離散值和平均值，然后計算結果并將其顯示為總質(zhì)量和質(zhì)量流量等項。對環(huán)境壓力、溫度和濕度以及平衡偏移的補充測量均由 GFSTools 執(zhí)行。自動測試設置、數(shù)據(jù)報告和流量控制也由該程序進行處理。
GFS 通用技術規(guī)范 | ||
| 供電要求 | ||
| 天平 | 100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，功率 27 W。功耗 | |
| LCM | 100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，功率 40 W。功耗 | |
| MFC-CB | 85 V 至 264 V 交流，50 至 60 Hz，功率 36 W。功耗 | |
| 工作溫度范圍 | 15 到 25°C | |
| 濕度范圍 | 5 到 70% RH（非凝結） | |
| 重量 | ||
| 花崗石表面（含支架） | 大約 320 kg (700 lb) | |
| 系統(tǒng)其余部分 | 大約 70 kg (150 lb) | |
| 尺寸 | ||
| 花崗石表面（含支架）外圍 | 150 cm 高 x 90 cm 寬 x 60 cm 深 (58 in. x 36 in. x 24 in.) | |
| LCM | 8 cm 高 x 22.5 cm 寬 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.) | |
| MFC-CB | 8 cm 高 x 22.5 cm 寬 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.) | |
| GFS-FS | 20 cm 高 x 41.4 cm 寬 x 20 cm 深 (7.9 in. x 16.3 in. x 7.9 in.) | |
| 支持的氣體 | 氮氣 (N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、六氟化硫 (SF6)、氙氣 (Xe) | |
| 流量測量范圍 | 至少： | |
| He、H2 | 100 sccm 到 10 slm | |
| 所有其他氣體 | 10 sccm 到 10 slm | |
| 壓力連接件 封殼的出口流量路徑 | 1/8” Swagelok 管裝置或等效裝置，使用 1/4” Swagelok 管裝置或等效裝置的適配器 | |
| 參考氣體套筒壓力極限 | 20 MPa (3000 psi) | |
| CE 認證證書 | 提供，必須 | |
