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Stage-base 主動消振隔振系統(tǒng)

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  • 型號Stage-base
  • 品牌其他品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2025-04-08
  • 廠商性質生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限6
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量568
  • 人氣值232499
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       上海倍藍光電科技有限公司成立于2012年,是一家年輕而又富有生命力的公司,公司負責人于立民擁有中國科學院長春光學精密機械研究所應用光學國家重點實驗室光學專業(yè)碩士學位,同時擁有中國科學院上海技術物理研究所航天遙感室物理電子學專業(yè)博士學位。曾就職于Labsphere Inc.(藍菲光學)公司擔任該公司亞太區(qū)技術總監(jiān),負責亞洲區(qū)域內(nèi)客戶解決方案的制定及技術支持。在供職期間,主導并設計了多項難度大、技術復雜的定制項目,如大口徑空間相機輻射定標系統(tǒng)、弱光紫外空間相機輻射定標系統(tǒng)、單波長可調(diào)諧均勻光源系統(tǒng)、高精度多光譜輻亮度標定系統(tǒng)(輻照度標準燈-漫反射板系統(tǒng))、醫(yī)用內(nèi)窺鏡檢測系統(tǒng)(依據(jù)YY0068.1-2008)、顯示器ACR(環(huán)境對比度)測量系統(tǒng)等多個高難度、高復雜度的定制系統(tǒng)。后帶領一支具有豐富的儀器設備開發(fā)、使用維護經(jīng)驗的工程師和商務人員成立倍藍光電科技有限公司。
    公司專注于光電領域儀器設備的定制開發(fā)、代理銷售與系統(tǒng)集成業(yè)務包括儀器設備的維修和周邊產(chǎn)品的銷售,為國內(nèi)科研及制造業(yè)用戶提供全面的服務。公司致力于引進上先進的產(chǎn)品、先進的技術完善定制服務,向客戶提供完善的服務、完善的產(chǎn)品、完善的售后服務。幫助客戶解決在科研、生產(chǎn)中遇到的問題。
    公司在代理和銷售光電設備的同時并提供基于各種光電設備的拓展應用和OEM研發(fā)。我們在光電行業(yè)有著多年的工作經(jīng)驗和實際操作方案,積累了大量的應用和研發(fā)實例,為客戶提供一站式的解決方案。

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主動消振隔振系統(tǒng),使用壓電致動器和串行式架構中的剛性懸架實現(xiàn)了**的消振。這實現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內(nèi)**地面隔振,響應于平臺力的初始偏轉明顯更小。
主動消振隔振系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

主動消振隔振系統(tǒng)

TMC繼續(xù)在先進技術的基礎上開發(fā)新的解決方案,以滿足半導體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的**半導體工具而設計的主動消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能,它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非??焖俚胤€(wěn)定,以**限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM,可以縮短穩(wěn)定時間,進一步提高吞吐量,從而為移動平臺應用提供**先進的主動振動和運動消除系統(tǒng)。

主動消振系統(tǒng)Stage-base(圖1)

Stage-Base 450優(yōu)勢

Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術。只有TMC可以提供這種**低頻消振串行型技術,通過使用音圈電機(VCM),實現(xiàn)了主動移動平臺運動消除。

Stage-Base 450下一代主動控制系統(tǒng)采用TMC的STACIS技術。使用壓電致動器和串行式架構中的剛性懸架實現(xiàn)了**的消振。這實現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內(nèi)**地面隔振,響應于平臺力的初始偏轉明顯更小。

規(guī)格

? 采用STACIS®技術

? 采用高力、加長行程的壓電致動器

? 有效載荷的位置可重復性在微米以內(nèi)

? 框架安裝設計

? 6個主動自由度

? 可選的VCM前饋和/或反饋

? 始于0.6 Hz的主動隔振

? 響應平臺運動的快速穩(wěn)定時間

? 無軟空氣懸架

? 通過USB 2.0實現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面(GUI)的高速數(shù)字控制器

? 簡單、堅固且經(jīng)濟高效

性能

主動消振系統(tǒng)Stage-base(圖2)主動消振系統(tǒng)Stage-base(圖3)

主動消振隔振系統(tǒng) 應用照片

主動消振系統(tǒng)Stage-base(圖4)主動消振系統(tǒng)Stage-base(圖5)

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