量程0.3~1mm;
分辨率10~25nm;
的測(cè)量性能,且易于操作;
綜合的觸發(fā)模塊;
大的測(cè)量間隙,高數(shù)值孔徑,特別適用于復(fù)雜的地形;
能測(cè)量各種反射率的表面和邊緣,并無需做任何適配或設(shè)置;
產(chǎn)品應(yīng)用于電子行業(yè),光學(xué)器件,電信行業(yè),塑料和造紙行業(yè),IC封裝,機(jī)械工程,陶瓷行業(yè)、汽車等應(yīng)用領(lǐng)域。
型號(hào) | NLS11 | NLS12 | NLS13 | NLS14 |
測(cè)量范圍mm | 1 | 1 | 1.5 | 0.3 |
分辨率nm | 20 | 20 | 10 | 25 |
測(cè)量間隙mm | 4 | 13.5 | 2 | 4 |
光斑直徑μm | <2< span=""> | 2 | 1.9 | 5 |
激光等級(jí) | 2 | 1 | 1 |
|
光源 | 半導(dǎo)體傳感器 | 半導(dǎo)體傳感器 | 半導(dǎo)體傳感器 | 鹵素?zé)?/span> |
工作原理 | 共焦傳感器 | 共焦傳感器 | 自動(dòng)聚焦傳感器 | 白光傳感器 |
◆我們保留規(guī)格變化而不另行通知的權(quán)利。
NLS13發(fā)射的光源通過物鏡投射到被測(cè)物樣品表面,其反射回來的光會(huì)通過內(nèi)置的裝置形成光斑顯示在傳感器里面,從而被探測(cè)器檢測(cè)。物鏡的運(yùn)動(dòng)通過增量型編碼器控制,傳感器自動(dòng)算出當(dāng)前位移值。