半導(dǎo)體曲線跟蹤器 CS-8000 系列是各種單元的組合，非常適合所有工藝的表征，支持下一代半導(dǎo)體測(cè)量。
■5kV，2000A時(shí)的高功率測(cè)試
■精確的微電流測(cè)量 （分辨率250fA）
■大屏幕12.1英寸觸摸屏
■多種GATE信號(hào)輸出功能
■豐富的溫度特性測(cè)量選項(xiàng)
■在探針臺(tái)上進(jìn)行高功率晶片測(cè)試
半導(dǎo)體曲線跟蹤器CS-8000系列的主要特點(diǎn)
易于使用的 UI
配備 12.1 英寸 TFT-LCD （1，280×800） 高清大屏幕顯示屏，除了觸摸屏操作外，前面板上的功能鍵和每個(gè)功能的獨(dú)立旋鈕可實(shí)現(xiàn)直觀的操作。
（1） X-Y 顯示區(qū)域 | |
 | （2） Y-T 顯示區(qū)域 測(cè)量應(yīng)用波形在時(shí)間軸上顯示為示波器。 由于可以實(shí)時(shí)檢查波形異常（如脈沖寬度、測(cè)量點(diǎn)和振蕩），因此可以輕松驗(yàn)證是否可以進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量。 所有應(yīng)用波形數(shù)據(jù)都可以與 X-Y 顯示數(shù)據(jù)同時(shí)存儲(chǔ)，以便重新驗(yàn)證測(cè)量結(jié)果。 |
（3） 測(cè)量數(shù)據(jù)顯示區(qū)域 以純文本格式顯示詳細(xì)的測(cè)量結(jié)果、測(cè)量條件和狀態(tài)。 |
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 | （4） 配置設(shè)置區(qū)域 設(shè)置設(shè)備的測(cè)量配置。 通過(guò)圖形顯示支持電壓/電流單元的選擇和布線更改。 |
| 5參數(shù)設(shè)定區(qū)域 設(shè)定測(cè)量參數(shù)、測(cè)量限制、手動(dòng)/自動(dòng)測(cè)量等在此區(qū)域進(jìn)行切換。 |  |
 | （6） 操作面板 前面板上設(shè)有按鈕和旋鈕，便于手動(dòng)測(cè)量。 居中的數(shù)字鍵盤允許您輸入?yún)?shù)的數(shù)字。 使用 DRAIN/COLLECTOR、門/BASE、垂直軸和水平軸旋鈕輕松進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量。 |
適合應(yīng)用的輸出源
可根據(jù)應(yīng)用選擇測(cè)量所需的電壓和電流單元。
右圖為 上部：測(cè)試夾具 下半部分：高電流單元 |  |
| ■HV單元 | |
| 2kV，5kV 高壓?jiǎn)卧?br _istranslated="1"/>可以選擇直流/脈沖波。 您可以選擇恒壓和恒流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。 | 主單元CS-8200CS-8500電壓（電流）2 kV（20 mA）5 kV（8 mA）波形直流，脈沖極性正/負(fù)測(cè)量電流分辨率250 fA |
| ■MV單元 （所有主單元通用） | |
| 電壓（電流）200 V（2 A）波形直流 （200 mA）、脈沖 （2 A）、SIN、半波、全波極性正/負(fù)/雙極性測(cè)量電流分辨率250 fA | 200V 中壓?jiǎn)卧?您可以選擇恒壓和恒流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。 除了直流、脈沖外，您還可以選擇 SIN、半波和全波波形。 |
| ■GATE單元 （所有主單元通用） | |
| 40V 單元。 您可以選擇恒壓和恒流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。 除了直流、脈沖外，還可以選擇 SIN。 | 電壓（電流）40 V（1 A）波形直流、脈沖、SIN極性正/負(fù)/雙極性測(cè)量電流分辨率250 fA |
| ■HC單元 | |
| HC單元CS-205CS-210CS-220電流（電壓）500 A（50 V）1 kA（50 V）2 kA（50 V）波形脈沖脈沖寬度10μs～1ms10μs～500μs極性正/負(fù) | 配備大電流模式，可支持高達(dá) 2000A 的大電流測(cè)量。 脈沖寬度、測(cè)量周期和測(cè)量范圍可以更改。 |
最小電流分辨率 250fA
 | 通過(guò)采用三軸測(cè)量和優(yōu)化測(cè)量系統(tǒng)，減少了設(shè)備中的泄漏和噪聲，從而穩(wěn)定測(cè)量微電流。 |
各種門信號(hào)輸出
GATE 信號(hào)可以按順序輸出和應(yīng)用。 保持時(shí)間可變范圍 備用信號(hào)電壓范圍 |  |
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滯后測(cè)量
 | CS-8000 具有測(cè)量寬帶隙半導(dǎo)體（如 SiC 和 GaN）的有用功能，這些半導(dǎo)體具有滯后性。
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安全機(jī)制
除了聯(lián)鎖功能外，它還具有輸出限制功能。
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組合校準(zhǔn)
 | 您可以選擇 HC 單元或夾具，以滿足測(cè)量目標(biāo)的電壓和電流。 |
| ■構(gòu)成例 | 2 kV，2，000 A 時(shí)使用 | |||||
| 主單元 | CS-8200 | 附件電纜 | ||||
| HC 單元 | CS-2200 | HV 標(biāo)準(zhǔn)電纜套件 | CS-021 | |||
| 測(cè)試夾具 | CS-322HV/HC | HC 標(biāo)準(zhǔn)電纜套件 | CS-022 | |||
半導(dǎo)體曲線跟蹤器CS-8000系列主要規(guī)格
| CS-8000 系列主要規(guī)格 | ||||
| 主單元模型名稱 | CS-8020 | CS-8200 | CS-8500（TBD） | |
| HV 單元 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 峰值電壓（電流） | ― | 2 kV（20 mA） | 5 kV（8 mA） | |
| 測(cè)量電壓范圍（滿量程） | ― | 50 V ～ 2 kV | 50 V ～ 5 kV | |
| 測(cè)量電流范圍 | ― | 20 mA ～ 50 μA | 20 mA ～ 50 μA | |
| 最小測(cè)量電流分辨率 | ― | 250 fA | 250 fA | |
| 波形 | ― | 直流脈沖 | 直流脈沖 | |
| MV 單元 | ||||
| 峰值電壓（電流） | 200 V（2 A） | |||
| 測(cè)量電壓范圍（滿量程） | 200 mV ～ 200 V | |||
| 測(cè)量電流范圍 | 2 A ～ 5 nA | |||
| 最小測(cè)量電流分辨率 | 250 fA | |||
| 波形 | 直流脈沖 | |||
| 門單位 | ||||
| 峰值電壓（電流） | 40 V（1 A） | |||
| 測(cè)量電壓范圍（滿量程） | 1 V ～ 50 V | |||
| 測(cè)量電流范圍 | 5 nA ～ 1 A | |||
| 最小測(cè)量電流分辨率 | 250 fA | |||
| 波形 | 直流脈沖 SIN （50 Hz） | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)附件 | 電源線、控制接口終端、用戶手冊(cè)（小冊(cè)子 + CD） | |||
| HC 單元型號(hào)名稱 | CS-205 | CS-210 | CS-220 |
| 峰值電流（電壓） | 500 A（50 V） | 1,000 A（50 V） | 2,000 A（50 V） |
| 測(cè)量電壓范圍（滿量程） | 200 mV ～ 50 V | 200 mV ～ 50 V | 200 mV ～ 50 V |
| 測(cè)量電流范圍 | 500 mA ～ 500 A | 500 mA ～ 1,000 A | 500 mA ～ 2,000 A |
| 波形 | 脈沖 （寬度 10 μs 至 1 ms） | 脈沖 （寬度 10 μs 至 500 μs） | 脈沖 （寬度 10 μs 至 500 μs） |
| 標(biāo)準(zhǔn)附件 | 電源線、HC-FIXTURE 連接單元、用戶手冊(cè) | ||
※使用HC單元時(shí)，需要另外使用感應(yīng)電纜。
| 測(cè)試夾具模型名稱 | CS-320MV（即將推出） | CS-322HV/HC |
| 標(biāo)準(zhǔn)附件 | 電源線，標(biāo)準(zhǔn)引線套件（CS-005 1 型 7 件套），用戶手冊(cè) | |
| ― | HV/HC 電纜（2 根） | |
? 連接測(cè)試夾具時(shí)，需要單獨(dú)的電纜。
| ■ 電纜組 （ 連接到測(cè)試夾具或HC單元時(shí)使用 。 ） | ||
| 電纜組名稱 | 型號(hào) | 產(chǎn)品名稱 |
CS-020 MV 標(biāo)準(zhǔn)電纜套件 （推薦用于 CS-320 套件） | CS-026 | 7 根三軸電纜（L=1.0 米） |
|---|---|---|
| CS-027 | 1 根控制接口電纜（L=1.0 米） | |
| CS-028 | 1 根聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜（L=1.0 m） | |
CS-021 HV 標(biāo)準(zhǔn)電纜套件 （推薦用于 CS-322 套件） | CS-025 | 2 根 HV 電纜（L =1.0 米） |
| CS-026 | 7 根三軸電纜（L=1.0 米） | |
| CS-027 | 1 根控制接口電纜（L=1.0 米） | |
| CS-028 | 1 根聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜（L=1.0 m） | |
CS-022 HC 標(biāo)準(zhǔn)電纜套件 （HC 單元推薦套件） | CS-027 | 1 根控制接口電纜（L=1.0 米） |
| CS-028 | 1 根聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜（L=1.0 m） | |
