簡介
Leica EM RES102 通過離子槍激發(fā)獲得離子束，以一定入射角度對樣品進(jìn)行轟擊，以去除樣品表面原子，從而實(shí)現(xiàn)對樣品的離子束加工。Leica EM RES102主要功能為：對無機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄，使得薄片樣品可被透射電子穿過，從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察；對無機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光、離子束刻蝕，樣品表面離子清洗及斜坡切割，便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息。
主要技術(shù)優(yōu)勢：
操作簡便
● 19“觸摸屏電腦控制單元，監(jiān)控并記錄制樣過程
● 內(nèi)置應(yīng)用參數(shù)庫
● 程序化制樣參數(shù)設(shè)定，加速初學(xué)者學(xué)習(xí)曲線
● 幫助文件幫助初學(xué)者以及對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)
高效/節(jié)約成本
● TEM，SEM和LM應(yīng)用功能集于一體
● TEM樣品制備獲得的薄區(qū)大，有效提高了TEM樣品制備效率
● SEM樣品制備可達(dá)25mm樣品直徑
● 預(yù)抽室系統(tǒng)幫助快速交換樣品，減少等待時(shí)間，并保證了樣品室的持續(xù)高真空
● 局域網(wǎng)功能方便遠(yuǎn)程操控
● LN2樣品臺(tái)使得溫度敏感型樣品可在優(yōu)化條件下進(jìn)行離子研磨
安全
● 精確的自動(dòng)終止功能，適用于光學(xué)終止或透明樣品的法拉第杯終止
● 在制樣過程中可以時(shí)時(shí)存儲(chǔ)活圖像或視頻
● 離子源和樣品運(yùn)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，程序化控制，因而可獲得重復(fù)性制樣結(jié)果
主要技術(shù)參數(shù)：
● 具有2把離子槍，離子束能量為0.8keV-10keV，相對位置，可分別±45°傾斜，樣品臺(tái)傾斜角度-120°至 210°，離子束加工角度0°至90°，樣品平面擺動(dòng)角度<360°，垂直擺動(dòng)距離±5mm。實(shí)際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇（系統(tǒng)備有參考參數(shù)，也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲(chǔ)）
● 可選配樣品臺(tái)：TEM樣品臺(tái)（φ3.0mm或φ2.3mm），F(xiàn)IB樣品清洗臺(tái)，SEM樣品臺(tái)，斜坡切割樣品臺(tái)（對樣品35°或90°斜坡切割）等
● SEM樣品臺(tái)可容納樣品尺寸：直徑25mm，高度12mm
● 全無油真空系統(tǒng)，樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室，保證樣品交換時(shí)間<1分鐘
● 全電腦控制，觸摸屏操作界面，內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)觀察樣品處理過程
