ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器 21V系列
美國ALICAT 21V系列帶截止閥質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21V系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關閉應用而設計的，如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態(tài)下其氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。應用案例
● 大學/研究所
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 半導體
● 光伏
● 過程工藝氣體測量
產(chǎn)品特色
數(shù)字化產(chǎn)品
帶氣動截止閥，泄漏率低
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度：可優(yōu)于0.5%
量程比 200:1
響應時間快 僅需100ms(可調(diào))
內(nèi)置98種氣體
現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
性能指標
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載”中氣體兼容表
一臺設備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM
量 程 比 200:1
顯示流量 102.4%FS
顯示屏 帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
閥門泄漏率 不超過1x10 atm scc/sec (He)
重復性 ± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm
響應時間 100ms（可調(diào)）預熱時間：<1s
標定工況：25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa 絕壓、0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ℃
工作濕度：0-99%，無冷凝
標準工作壓力 1MPa 表壓
標準極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項 2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流 250mA ～ 750mA
電氣接口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì) 316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV，玻璃增強尼龍
鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅，玻璃, PCTFE
安裝方式 對位置無要求 防護等級：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們
