光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)是一種高精度測(cè)量設(shè)備，常用于工業(yè)生產(chǎn)中對(duì)物體長(zhǎng)度、角度和位置等參數(shù)的精確測(cè)量。其原理是利用光柵的干涉作用，通過(guò)光電檢測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，并經(jīng)過(guò)計(jì)算得出被測(cè)物體的尺寸。具有高精度、高速度、非接觸式測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、電子制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)等領(lǐng)域。其測(cè)量精度通?？蛇_(dá)到亞微米級(jí)別，可以滿(mǎn)足大多數(shù)工業(yè)生產(chǎn)對(duì)尺寸精度的要求。
中圖儀器SJ5160全自動(dòng)光柵式測(cè)長(zhǎng)機(jī)采用超高精度光柵式全自動(dòng)接觸式測(cè)量，零膨脹超高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.001μm，測(cè)量精度高。
性能特點(diǎn)
1. 全程直接測(cè)量：
SJ5160系列超高精度全自動(dòng)光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)采用超高精度進(jìn)口長(zhǎng)玻璃光柵尺作為長(zhǎng)度方向定位，可進(jìn)行符合阿貝原理超高精度全自動(dòng)測(cè)量。
2. 高精度、高穩(wěn)定性：
1)零膨脹超高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.001μm，測(cè)量精度高；
2)高精密特制研磨級(jí)直線導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)軌直線度高，導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；
3)進(jìn)口特殊材料制作的高剛性、無(wú)變形測(cè)桿，保證測(cè)試數(shù)據(jù)的真實(shí)采集；
4)采用高精度穩(wěn)定的大理石基座，保證了在頭座及五軸工作臺(tái)的移動(dòng)過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生變形以及儀器不受外界震動(dòng)干擾，保證了儀器的穩(wěn)定可靠；
3. 全自動(dòng)調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測(cè)力系統(tǒng)：
1) 全自動(dòng)調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測(cè)力系統(tǒng)，采用特殊及雙向受力彈性結(jié)構(gòu)，測(cè)力恒定性好，減小了測(cè)力對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，全自動(dòng)伺服驅(qū)動(dòng)控制測(cè)力及光柵反饋測(cè)力位置，保證了高的系統(tǒng)測(cè)量重復(fù)性精度；
2) 電子測(cè)力通過(guò)調(diào)節(jié)桿全自動(dòng)伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)控制連續(xù)可調(diào)；
3) 電子測(cè)力傳感器原理避免了儀器臺(tái)面不水平及環(huán)境振動(dòng)引起的測(cè)力變化帶來(lái)的測(cè)量誤差。
4. 零測(cè)力修正系統(tǒng)：
1) 準(zhǔn)確的電子測(cè)力技術(shù)，能準(zhǔn)確的讀取到當(dāng)前的；
2) 零測(cè)量力修正，根據(jù)被測(cè)件測(cè)量時(shí)的測(cè)針、測(cè)帽形狀及被測(cè)件尺寸進(jìn)行測(cè)力變形量修正。
5. 全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)：
1) 帶自動(dòng)掃描功能，可自動(dòng)掃描各種量規(guī)、量塊、量具，根據(jù)軟件自動(dòng)定義流程進(jìn)行全自動(dòng)、半自動(dòng)掃描；
2) 智能測(cè)力檢測(cè)系統(tǒng)，防止誤操作撞機(jī)，測(cè)力接觸自動(dòng)停止，自動(dòng)采樣并自動(dòng)得到測(cè)量結(jié)果。
6. 智能化管理與檢測(cè)軟件系統(tǒng)：
1)儀器操作界面友好，操作者很容易即可基本掌握儀器操作，使用十分簡(jiǎn)便；
2)10多年積累的實(shí)用檢定軟件設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，向客戶(hù)提供簡(jiǎn)潔、實(shí)用、快速的操作體驗(yàn)；
3)集成眾多長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)程，功能強(qiáng)大、自動(dòng)處理數(shù)據(jù)、打印各種格式的檢定報(bào)告，自動(dòng)顯示、打印、保存、查詢(xún)檢定記錄；
4)測(cè)量范圍廣，可滿(mǎn)足絕大多數(shù)類(lèi)型的量規(guī)、量塊等長(zhǎng)度參數(shù)測(cè)量；
5)軟件配備快速找拐點(diǎn)指示功能，方便客戶(hù)快速便攜地找到被測(cè)件的拐點(diǎn)；
6)純中文操作軟件系統(tǒng)，更好的為國(guó)內(nèi)用戶(hù)服務(wù)；
7)打印格式正規(guī)、美觀。檢定數(shù)據(jù)可存檔，或集中打印，不占用檢定操作時(shí)間；
8)本儀器采用計(jì)算機(jī)大容量數(shù)據(jù)庫(kù)儲(chǔ)存，可自動(dòng)記錄保存所有檢定結(jié)果。
7. 高性能CNC五軸工作臺(tái)：
1)X，Y，Z三軸采用高性能交叉滾子導(dǎo)軌：摩擦力極小，穩(wěn)定性好，承載高；
2)Y軸、Z軸采用全自動(dòng)直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)控制，光柵反饋實(shí)時(shí)位置可自動(dòng)找到拐點(diǎn)并記錄拐點(diǎn)位置，調(diào)節(jié)細(xì)度高，能夠全自動(dòng)準(zhǔn)確的找到拐點(diǎn)；
3)Z軸及Y軸配置有光柵系統(tǒng)，可連接將數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X，可用于錐度量規(guī)及工件的測(cè)量。
8. 高性能螺紋環(huán)規(guī)測(cè)量裝置：
配置高性能超高進(jìn)度螺紋環(huán)規(guī)測(cè)量裝置，可測(cè)量小螺紋環(huán)規(guī)，同時(shí)可完成極小的光滑環(huán)規(guī)檢測(cè)；測(cè)量重復(fù)性（2S）可達(dá)0.12μm以?xún)?nèi)；測(cè)量力為電子測(cè)力，軟件界面內(nèi)可自由設(shè)置，設(shè)置較小測(cè)力可用于超薄壁工件測(cè)量；
操作過(guò)程
操作者裝好被測(cè)件，在檢測(cè)軟件上選擇被測(cè)件的標(biāo)準(zhǔn)和輸入被測(cè)件的規(guī)格等參數(shù)后，軟件控制全自動(dòng)移動(dòng)頭座接觸被測(cè)件，全自動(dòng)調(diào)整五軸工作臺(tái)找到拐點(diǎn)，采樣完成得到當(dāng)前測(cè)量數(shù)據(jù)，系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果，自動(dòng)計(jì)算出被測(cè)件的各項(xiàng)參數(shù)（如檢測(cè)螺紋規(guī)，則可換算顯示出螺紋中徑），并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)被測(cè)件的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行合格判定，整個(gè)測(cè)量過(guò)程不超過(guò)4分鐘，檢測(cè)結(jié)束后自動(dòng)生成檢定結(jié)果。
SJ5160全自動(dòng)光柵式測(cè)長(zhǎng)機(jī)具有超高精度、全自動(dòng)、功能強(qiáng)、電子測(cè)力等優(yōu)點(diǎn)，能夠檢定超高精密量具、量規(guī)，如塊規(guī)、環(huán)規(guī)、塞規(guī)、卡規(guī)、螺紋規(guī)。還可以檢測(cè)各種高精密工件內(nèi)外尺寸及高精度薄壁零件內(nèi)外徑尺寸等，具有超高精度、人為干擾少、穩(wěn)定性強(qiáng)等特點(diǎn)?？刹僮餍阅軓?qiáng)，是一臺(tái)超高精度、全自動(dòng)的光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)，譬如全自動(dòng)接觸、智能找拐點(diǎn)，全自動(dòng)光滑、螺紋環(huán)規(guī)、孔徑測(cè)量等，操作人員在使用儀器過(guò)程中，只需將工件移動(dòng)到位置，輸入被測(cè)件參數(shù)，通過(guò)智能測(cè)力識(shí)別方式防誤操作撞針，真正做到無(wú)損傷測(cè)量，真正實(shí)現(xiàn)一鍵測(cè)量。廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造業(yè)、工具、量具制造業(yè)及儀器儀表制造業(yè)等企業(yè)的計(jì)量室和各級(jí)計(jì)量鑒定部門(mén)。
主要技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | SJ5160-300A(全自動(dòng)型) | |
測(cè)量范圍 | 外尺寸（直接:0-350mm;比較:0-350mm） 內(nèi)尺寸（1-200mm） | |
| 外尺寸示值誤差 | ≤±(0.07+L/2000)μm,其中:L為被測(cè)長(zhǎng)度,單位:mm | |
| 外尺寸重復(fù)性(2S) | ≤0.03μm | |
| 內(nèi)尺寸重復(fù)性(2S) | ≤0.1μm（使用大小測(cè)鉤）；≤0.15μm（使用內(nèi)尺寸測(cè)量裝置） | |
| 最高分辨力 | 0.001μm | |
| 測(cè)力 | 內(nèi)測(cè)裝置測(cè)力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，主測(cè)力0~12N自動(dòng)連續(xù)可調(diào) | |
| 測(cè)量中徑 | 環(huán)規(guī)200mm（標(biāo)配）塞規(guī)250mm（標(biāo)配） | |
| 儀器尺寸 | 2100*800*1300mm | |
| 儀器重量 | 300kg | |
CNC五軸工作臺(tái) | 型號(hào) | ST-60.1（CNC型、標(biāo)配） |
Z軸 | 0~100mm，CNC自動(dòng) | |
| Y軸 | 50mm，CNC自動(dòng) | |
X軸浮動(dòng) | ±10mm | |
| Z軸旋轉(zhuǎn) | ±4° | |
Y軸擺動(dòng) | ±3° | |
| 負(fù)載 | 最大60kg | |
| 臺(tái)面尺寸 | 360mm×150mm | |
應(yīng)用
機(jī)械制造：在機(jī)械制造過(guò)程中，可以用來(lái)測(cè)量各種零件的尺寸和形狀，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。
半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來(lái)測(cè)量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。
光學(xué)加工：在光學(xué)加工領(lǐng)域中，可以用來(lái)測(cè)量光學(xué)元件的表面形貌和厚度等參數(shù)。
航空航天：在航空航天領(lǐng)域中，可以用來(lái)測(cè)量航空器的外形和尺寸，以及檢測(cè)零部件之間的配合精度。
