| 設(shè)備名稱 | 真空感應(yīng)熔煉爐（2020.12.3——升利實(shí)驗(yàn)室審核） |
| 感應(yīng)加熱電源 |
? 工作電壓：三相，380V AC 50/60HZ ? 輸入功率：20KW ? 空氣開關(guān)：需60A的空氣開關(guān) ? 保護(hù)：自動(dòng)水壓，超溫和超功率保護(hù) ? 輸出頻率：30-80KHZ ? 循環(huán)比：80%
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| 溫度控制器&熱電偶 | ? 工作電壓;208~240V AC,單相 ? 采用PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序 ? 設(shè)置有超溫&斷偶保護(hù) ? 控溫精度：+/- 5 oC ? 采用C型熱偶（進(jìn)口Ω熱電偶），探頭伸入到石墨坩堝內(nèi) ? 連續(xù)工作溫度: 1000oC~1700oC ? 升溫速率: ? 10oC/second (1000oC-1200oC) ? 1700℃(恒溫時(shí)間<10min） ? 1600℃(恒溫<1小時(shí)) |
| 真空法蘭、石英管和防護(hù)罩 |
? 不銹鋼法蘭上帶有高溫硅膠O型圈，在法蘭上安裝兩個(gè)閥門和真空計(jì) ? 一端封閉的石英管：150mm(OD)*142mm(ID)*300mm(L) ? 在法蘭上連接KF25接頭和KF25的波紋管用于連接真空泵
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| 循環(huán)水冷機(jī) |
? 溫度范圍：5~30°C ? 水流量：16L/min ? 水箱：不銹鋼材質(zhì)，容積為12L ? 注意：建議使用特定的冷卻液以獲得性能。在幾次加熱試驗(yàn)后，等待幾分鐘冷卻屬于正常現(xiàn)象。
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| 真空泵 |
? 標(biāo)配一個(gè)VRD-8的雙極旋片機(jī)械泵 ? 電壓：AC 208-240 50hz,單相 ? 功率：800W
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| 產(chǎn)品尺寸 |
? 感應(yīng)加熱爐：530mm*220mm*430mm ? 水冷機(jī)：590mm*380mm*760mm ? 移動(dòng)鋼框爐架：700mm(L)*1000mm(W)*700mm(H) （用于放置感應(yīng)加熱器和石英管）
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| 凈重 | ? 60kg |
| 質(zhì)保期 | ?一年保修，終身技術(shù)支持。 1.耗材部分如爐管，耐火材料，密封圈，石墨坩堝和感應(yīng)圈等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
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| 注意事項(xiàng) | · 為了保護(hù)石墨坩堝和C熱電偶，在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程必須在流動(dòng)惰性氣氛環(huán)境中進(jìn)行。氣體流量應(yīng)限制在< 200SCCM
· C型熱電偶是耗材，不在我們的保修范圍內(nèi)
· 在連續(xù)的氣體流動(dòng)狀態(tài)下，所有的氣路壓力都在0.02MPa以下。石英管內(nèi)氣壓超過0.02MPa后，可能對(duì)爐膛造成不可逆轉(zhuǎn)的破壞
· 當(dāng)出氣口關(guān)閉，爐腔內(nèi)存在正壓狀態(tài)時(shí)，不要加熱爐子。在加熱過程中，必須使用壓力表來密切監(jiān)測(cè)加熱腔體內(nèi)情況，一旦燃燒室壓力超過0.02MPa，請(qǐng)立即打開放氣閥，以防止不可預(yù)見的損壞
· 熔化時(shí)間和溫度與材料、坩堝、耐火絕緣等有關(guān)。如果不知道感應(yīng)加熱器是否能熔化您的樣品，請(qǐng)聯(lián)系我們的工程師咨詢
· 石英管內(nèi)部氣壓必須<0.02MPa(相對(duì)氣壓）
· 所用氣瓶上必須安裝減壓閥（可在本公司購買）
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| 應(yīng)用 |
? 此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們
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