KJ-V1200是一種立式流化床管式爐，專為固體氣相沉積的CVD實驗而設(shè)計。 爐管為高純石英異形，爐管內(nèi)嵌有石英網(wǎng)固定。 粉末 2 從管頂部進料到該篩網(wǎng)上。 另一個網(wǎng)片固定在活動法蘭架部分上。 然后通入氮氣和乙炔，將粉體1氣體吹過上面的網(wǎng)孔，到達涂層反應(yīng)區(qū)，將粉體2顆粒吹入反應(yīng)區(qū)進行沉積實驗。
技術(shù)參數(shù)：
| 立式管式爐部分 | |
| 名稱 | 立式流化床管式爐 |
| 型號 | KJ-V1200-L2 |
| 加熱區(qū)長度 | 300+300mm, 兩溫區(qū) |
| 爐管尺寸 | Φ50*1200mm |
| 管材質(zhì) | 內(nèi)置5-20um網(wǎng)孔的高純石英管（定制） |
| 工作溫度 | ≦1100℃ |
| 溫度 | 1200℃ |
| 熱電偶 | K 型 |
| 溫度控制系統(tǒng) | 通過可控硅功率控制和自動調(diào)諧功能實現(xiàn)智能30段PID自動控制。 內(nèi)置過熱和斷熱電偶保護。 |
| 溫度控制精度 | ±1℃ |
| 升溫速率 | 0-20ºC/分鐘 |
| 加熱元件 | 鉬摻電阻絲鐵鉻鋁合金 |
| 工作電壓 | 220V, 50Hz, 單相 |
| 功率 | 6KW |
| 腔體材料 | 陶瓷纖維 |
| 真空法蘭 | 帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭 |
| 真空泵 | 旋片真空泵 |
| 氣路 | 用于氮氣和乙炔的兩路浮子流量計，可調(diào)節(jié)氣體流量以使材料流化。 流量范圍：0-1L/min。 |
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