簡介
Leica EM TIC 3X 通過離子槍激發(fā)獲得的離子束，以垂直于樣品側(cè)面縱向轟擊樣品，可獲得高質(zhì)量無應(yīng)力“切割”截面，便于SEM觀察。該處理方法適用于多層膜材料、軟硬復(fù)合材料等高難度制備樣品，并且操作簡單，可有效避免涂抹效應(yīng)，不需要大量摸索條件即可獲得理想的截面，使樣品暴露內(nèi)部細(xì)微結(jié)構(gòu)信息。
主要技術(shù)優(yōu)勢：
1、人體工學(xué)設(shè)計，簡單易用
體視顯微鏡方便定位校準(zhǔn)和樣品處理過程的觀察；一體式觸摸屏控制面板操作直觀，并帶有提示和幫助信息，便于使用者掌握和使用；USB數(shù)據(jù)接口可實現(xiàn)操作參數(shù)或報告的上傳和下載。
2、高效
既可獲得優(yōu)秀高質(zhì)量結(jié)果，有可高通量制樣。三離子束系統(tǒng)使得樣品制備結(jié)果優(yōu)化并有效縮短工作時間；一次運行可容納三個樣品；一體化解決方案確保樣品被安全而高效地轉(zhuǎn)移至后繼制備設(shè)備或分析儀器中。
3、靈活
Leica EM TIC 3X提供五種可切換樣品臺，根據(jù)應(yīng)用需求，靈活選擇標(biāo)準(zhǔn)類型樣品制備、高通量樣品制備、特殊的熱敏感型樣品在低溫下樣品制備等；樣品可被真空冷凍傳輸進(jìn)入冷凍掃描電鏡（Cryo-SEM）。
旋轉(zhuǎn)樣品臺
用于對已經(jīng)機械拋光的樣品表面進(jìn)行離子束平面拋光。在離子束研磨過程中，樣品可以旋轉(zhuǎn)或擺動。同時，樣品還可以橫向運動，可獲得超過Φ25mm的研磨區(qū)域。從而，去除如涂抹效應(yīng)和細(xì)小劃痕等機械研磨產(chǎn)生的假象，暴露出樣品內(nèi)部真實結(jié)構(gòu)。
旋轉(zhuǎn)樣品臺可以選配一個截面切割載物臺，用于對樣品精確截面切割，將粗糙預(yù)制備樣品離子束切割得到高質(zhì)量樣品截面。
三樣品臺
用于高通量制樣。可以同時放入三個樣品，一次運行（如過夜運行）完成樣品制備，不需要操作者介入。在設(shè)定樣品制備程序時，每一個樣品裝載臺位置都可設(shè)定不同的樣品/擋板運動參數(shù)，擺動或不擺動。設(shè)定擺動，可以獲得三倍寬的樣品加工區(qū)域。因此在一個樣品裝載位置又可制備多個樣品。
標(biāo)準(zhǔn)樣品臺
用于常規(guī)樣品制備以及對制備獲得的平整截面再做襯度增強作用（離子束刻蝕）。
冷凍樣品臺
提供低溫環(huán)境下樣品制備。使用冷凍樣品臺，樣品載臺和擋板溫度都可降至-160℃，這樣溫度極敏感的樣品，如橡膠，水溶性聚合物纖維，甚至是棉花糖（如實驗需要）也可被制備獲得高質(zhì)量結(jié)果。25L的液氮罐可為一整個工作日提供足夠量的LN2，不需要中途再添加。當(dāng)需要打開樣品室，樣品及冷凍部件將在真空環(huán)境下先自動升溫恢復(fù)至預(yù)設(shè)的合適溫度，以避免樣品室內(nèi)部結(jié)霜污染。
真空冷凍傳輸配置
通過此裝置，樣品可從Leica EM TIC 3X在可控條件下被傳輸進(jìn)入冷凍掃描電鏡（Cryo-SEM）中。為環(huán)境敏感型樣品提供解決方案，這類樣品可以在惰性氣體/真空環(huán)境下被傳輸進(jìn)入鍍膜系統(tǒng)/掃描電鏡中。由于真空傳輸系統(tǒng)具有保持冷凍功能，冷凍劑制冷的樣品（如經(jīng)高壓冷凍的生物樣品）可以被傳輸并檢測。
主要技術(shù)參數(shù)：
● 可容納樣品尺寸50×50×10mm，可獲得有效切割截面面積＞4mm×1mm
● 三把離子槍，離子束能量1keV-10keV，切割速率150μm/h （[ protected], 50μm切割高度）
● 離子束處理過程中樣品位置固定，無需偏轉(zhuǎn)運動，無投影效應(yīng)，熱傳導(dǎo)性好
● 可進(jìn)行離子束切割或刻蝕，可選擇任意離子槍
● 真空泵解耦合設(shè)計，無震動傳導(dǎo)
● 觸摸屏操作面板，直觀、簡易操作，可編程可軟件升級
● 可選配：液氮制冷冷臺-150°至 30°，25L液氮罐及自動泵，具有自動快速制冷功能
● 可選配：三樣品臺，可一次連續(xù)處理三個樣品
