產(chǎn)品概述
臺式等離子清洗機P-T，對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和改性，地清除樣品表面的有機污染物。
一、產(chǎn)品原理
是一種非破壞性的表面處理設備，它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，在一定真空負壓的狀態(tài)下，以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性的氣體等離子體，該等離子體以一定能量作用于樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)改變和表面形貌的納米級變化，從而達到對樣品表面進行改性和分解污染物的目的。
二、產(chǎn)品特點：
1、桌面型，臺式小型，性能穩(wěn)定、操作簡便。
2、標配 40KHz 等離子源，可選配 13.56MHz 射頻等離子發(fā)生器。
3、小身材，大容量，有效處理面積大。氣浴電極，清洗效率高。
4、適用各種幾形狀、表面的金屬、陶瓷、硅片、等物件表面超清洗和表面改性。
5、全數(shù)字控制方式，實時顯示設備狀態(tài)。
6、全手動模式適應科學研究多種需求，真空保壓，氣體純化等。
7、全自動模式，一鍵啟動，適合成熟工藝和連續(xù)工作。
規(guī)格參數(shù)
| P-T 參數(shù)(標準配置) | |
| 外部尺寸 | 480mm*380mm*420mm |
| 真空腔尺寸 | 不銹鋼腔體，φ150mm*深 230mm |
| 電極尺寸 | 95*170mm，多控自適應平板電極, |
| 等離子體發(fā)生器 | 40kHz 專用等離子源； 頻率：13.56MHz（可選）；自適應阻抗匹配電源 |
| 功率 | 0-300W 連續(xù)可調(diào)，精度 1W |
| 真空計 | 熱電偶真空計 0-1000mT |
| 供氣 | 1 路氣體，精密針閥控制（可配第二路氣體通道） |
| 控制方式 | 4.3 寸觸摸屏，多級應用菜單，操控簡易快捷 |
| 選配件 | 飛越 VRD 油泵/萊寶/安捷倫 DS 系列干泵氧氣發(fā)生器，氣體混合器粉體處理專用裝置 |
| 電源 | 220V，10A |
