Pura Plus在線微量濕度異動變送器
Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設備尺寸和指標的新需求變化而特殊設計的。 Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應末端， 用來監(jiān)測純惰性氣體的應用。工廠內氣體系統(tǒng)分布復雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。 因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設計、元件故障或過程出錯等等原因導致濕氣滲入， 影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應指示，在 20 ppb 濕氣級別下 1 ppb 的異動的響應時間小于1 分鐘。
技術指標
響應速度 <1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應時間 濕度量程 1 ppb to 20000 ppm 壓力范圍 0 to 10 bar 耐壓等級 300 bar 泄漏測試 0-9 mbar l/s 工作流量范圍 1 ~ 10 l/min 工作溫度 5 ~ 40°C 存儲溫度 30 ~ 70°C 電源 20 ~ 28 V DC 功耗 5 W 大 外部保險絲等級 500 mA 快熔型 數(shù)據(jù)輸出 Modbus ASCII 兩線 RS485 警告和報警輸出 2 路 大電壓 40 V DC 大電流 100 mA 氣體接觸的材質 外殼材質 不銹鋼 AISI 316L 內表面電拋光 <10 Ra 傳感器結構 氧化鋁電解質 上層鍍金保護 下層鋁層 內部容積 4.4cm3 重量 450g 氣路接口 1/4" m VCR 電氣接口 9 - 針 D - 型 m 接口 電磁兼容性 EN50081-2 和 EN50082-2
