- 商品名稱: 氨氣分析儀
- 商品編號: AE-NH3
- 副標: AE-NH3
- 微量組分: NH3
- 行業(yè)用途: 半導體制造
- 產品型號: AE系列
? 快速、連續(xù)實時測量 ? 出色的長期穩(wěn)定性，優(yōu)異的精度 ? 儀器占用空間小，可滿足不同場景應用，無需使用耗材 ? 簡便、快速的安裝，便于現場操作
性能
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適用氣體：大氣
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檢測范圍：詳見技術參數表
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測量下限：詳見技術參數表
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靈敏度：±0.75% 或 1/3LDL
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準確度：±3% 或 LDL
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響應速度：< 1minute to 95%
電子參數
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報警指示：系統(tǒng)報警
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供電要求：100-240VAC，50/60Hz
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功率：300W(MAX)
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用戶界面：10.1 寸液晶顯示屏
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信號輸出：4-20mA 輸出、RS485 輸出、
自適應網絡、RS-232 串行通信
氣路系統(tǒng)和條件
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工作環(huán)境溫度：10℃～ 40℃
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工作環(huán)境相對濕度：30%至 80%(無凝液)
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存放溫度：-10℃ -40℃
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管路材料：316L 不銹鋼
Ra < 0.25μm -
檢漏測試：< 1×10-9mbar l/sec
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入口壓力：0 ～ 15psi
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流量：約 1.0slm
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通入氣體溫度： 60℃
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進出氣口氣路：1/4VCR 公頭
其它
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尺寸：730mm×310mm×248mm
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重量：15Kg
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外觀：垂直面板
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被檢氣和背景氣：NH3 in Air
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測量范圍：0-10ppm
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測量下限：0.3ppb
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靈敏度：0.1ppb
